共焦系统球差测量方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102661853B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201210140645.6

    申请日:2012-05-08

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和共焦定焦技术融合,测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离,进而得到被测系统的球差。本发明首次将共焦测量技术扩展到系统球差测量领域,具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点,可用于系统球差的高精度检测。

    自准直式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589852B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201210011883.7

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入共焦测量方法,利用共焦响应曲线的最大值点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    反射式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589851B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201210011839.6

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式共焦透镜焦距测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置,进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过共焦响应曲线最大值点对应被测透镜焦点和表面顶点特性实现精确定焦,将共焦测量技术扩展到透镜焦距测量领域,具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    自准直式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589852A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210011883.7

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入共焦测量方法,利用共焦响应曲线的最大值点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    多次反射式激光差动共焦长焦距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN104833486B

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201510240387.2

    申请日:2015-05-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多次反射式激光差动共焦长焦距测量方法与装置。该方法通过在被测镜后引入平行平晶和反射镜对聚焦光束进行多次反射,利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与会聚点精确对应这一特性,对多次折返后不同反射次数的会聚点进行高精度定焦,再由测长干涉仪精确测得反射镜位置信息,继而实现长焦距高精度测量。本发明提出的差动共焦定焦原理与多次反射式折返原理相结合的方法,极大程度压缩了测量光路,大幅缩短了测量距离,从而减少了仪器结构,抗高了抗环境干扰能力,可用于长焦距透镜或光学系统焦距的高精度测量。

    反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置

    公开(公告)号:CN105758336A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610307770.X

    申请日:2016-05-11

    CPC classification number: G01B11/255

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置。该方法利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与系统焦点精确对应这一特性,移动被测镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得被测镜位置差值L1,再移动反射镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得反射镜位置差值L2,利用测得的被测镜位置差值L1和反射镜位置差值L2求得被测镜曲率半径值,实现曲率半径高精度测量。与已有的测量方法相比,本方法不仅能实现凹面镜曲率半径测量,还能用于凸面镜曲率半径测量,具有测量精度高、测量光路短和抗环境干扰能力强等优点。

    反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置

    公开(公告)号:CN105758336B

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201610307770.X

    申请日:2016-05-11

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置。该方法利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与系统焦点精确对应这一特性,移动被测镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得被测镜位置差值L1,再移动反射镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得反射镜位置差值L2,利用测得的被测镜位置差值L1和反射镜位置差值L2求得被测镜曲率半径值,实现曲率半径高精度测量。与已有的测量方法相比,本方法不仅能实现凹面镜曲率半径测量,还能用于凸面镜曲率半径测量,具有测量精度高、测量光路短和抗环境干扰能力强等优点。

    多次反射式激光差动共焦长焦距测量方法与装置

    公开(公告)号:CN104833486A

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201510240387.2

    申请日:2015-05-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多次反射式激光差动共焦长焦距测量方法与装置。该方法通过在被测镜后引入平行平晶和反射镜对聚焦光束进行多次反射,利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与会聚点精确对应这一特性,对多次折返后不同反射次数的会聚点进行高精度定焦,再由测长干涉仪精确测得反射镜位置信息,继而实现长焦距高精度测量。本发明提出的差动共焦定焦原理与多次反射式折返原理相结合的方法,极大程度压缩了测量光路,大幅缩短了测量距离,从而减少了仪器结构,抗高了抗环境干扰能力,可用于长焦距透镜或光学系统焦距的高精度测量。

    共焦系统球差测量方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102661853A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201210140645.6

    申请日:2012-05-08

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和共焦定焦技术融合,测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离,进而得到被测系统的球差。本发明首次将共焦测量技术扩展到系统球差测量领域,具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点,可用于系统球差的高精度检测。

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