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公开(公告)号:CN103123251A
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN201010121848.1
申请日:2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜,使用自准直法,对透镜光轴进行高精度调整,使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性,实现透镜表面顶点的精确定位,并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角,利用光线追迹公式计算出透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合,提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理,具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点,可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。
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公开(公告)号:CN101782373A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN201010128405.5
申请日:2010-03-17
IPC: G01B11/14
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦镜组轴向间隙测量的方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明使用共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位,具有工作距离长,测量速度快,测量精度高,测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。
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公开(公告)号:CN103123251B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201010121848.1
申请日:2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜,使用自准直法,对透镜光轴进行高精度调整,使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性,实现透镜表面顶点的精确定位,并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角,利用光线追迹公式计算出透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合,提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理,具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点,可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。
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