差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN103471525A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310449692.3

    申请日:2013-09-27

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法利用抛物面可将聚焦于其焦点的光束无像差地准直成平行光束的特性,结合部分平面反射镜构建自反射光路,利用差动共焦响应曲线的过零点位置精确定位抛物面的顶点及焦点位置,进而精确测得抛物面的焦距及顶点曲率半径值。本发明首次提出将差动共焦测量技术扩展到抛物面顶点曲率半径测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于抛物面顶点曲率半径的高精度检测。

    差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN103471525B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201310449692.3

    申请日:2013-09-27

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法利用抛物面可将聚焦于其焦点的光束无像差地准直成平行光束的特性,结合部分平面反射镜构建自反射光路,利用差动共焦响应曲线的过零点位置精确定位抛物面的顶点及焦点位置,进而精确测得抛物面的焦距及顶点曲率半径值。本发明首次提出将差动共焦测量技术扩展到抛物面顶点曲率半径测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于抛物面顶点曲率半径的高精度检测。

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