一种焊料片和用该焊料片焊接的功率器件芯片封装方法

    公开(公告)号:CN110860817A

    公开(公告)日:2020-03-06

    申请号:CN201910934531.0

    申请日:2019-09-29

    Abstract: 本发明涉及一种焊料片和用该焊料片焊接的功率器件芯片封装方法,属于微电子器件封装技术领域。该焊料片包括铟和银,其中铟材料重量百分比为20~40%,金属银的重量百分比为60%~80%,所述焊料片为铟-银-铟三层复合结构。所述芯片封装方法以Ag-In作为反应系,芯片低温焊接原理为连接过程中低熔点金属铟形成液相与固态的高熔点金属银相互扩散或反应,发生等温凝固形成高熔点金属间化合物,实现耐高温连接。在Ag-In体系中靠近In一侧金属间化合物为AgIn2,随着工艺焊接时间的延长,Ag-In内部互扩散反应加剧,In4Ag9和Ag3In金属间化合物逐渐增多,并占据多数,金属间化合物In4Ag9和Ag3In能耐受660℃的高温,从而实现大功率器件高温服役。

    一种低应力高散热氧化镓器件封装结构与方法

    公开(公告)号:CN119965173A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202411962293.1

    申请日:2024-12-30

    Abstract: 本发明属于半导体封装技术领域,具体涉及了一种低应力高散热氧化镓器件封装结构与方法,旨在解决正置芯片的引线键合封装形式严重制约器件性能问题,本发明包括基板、氧化镓器件和阶梯型金属板,基板的表面设置有金属层,基板的中间区域分布有内焊接区,基板外侧区域分布有外焊接区,氧化镓器件的正面分布有第一电极区,氧化镓器件的背面分布有第二电极区,阶梯型金属板的头部分布有第一焊接区,阶梯型金属板的尾部分布有第二焊接区,第一电极区朝向内焊接区设置,第一焊接区朝向第二电极区设置,第二焊接区朝向外焊接区设置,通过利用阶梯型金属板替代传统的引线键合方式,降低了键合过程中机械应力对器件的损伤,保障了器件的性能与可靠性。

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