一种基于无掩模二次外延的micro-LED芯片阵列的制备方法

    公开(公告)号:CN117766642A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311841111.0

    申请日:2023-12-28

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于无掩模二次外延的micro‑LED芯片阵列的制备方法。本发明通过对GaN模板进行干法刻蚀,形成应力弛豫图形化GaN模板,再在应力弛豫图形化GaN模板基础上选区二次外延多量子阱等结构,有效避免对多量子阱区域进行干法刻蚀,从而避免了多量子阱的侧壁刻蚀损伤;应力弛豫图形化GaN模板使得n型掺杂的GaN受到的应力得到有效弛豫;在应力弛豫图形化GaN模板上生长的预应力层,所受到的压应力得到部分弛豫,面内晶格常数得到扩张,从而减小铟并入所需要的能量,增加多量子阱中铟的并入;在制备应力弛豫图形化GaN模板中的刻蚀,使得只有GaN微米柱阵列的顶面为c面,作为生长面;选区二次外延生长,不需要额外的掩模,降低了micro‑LED制备工艺的复杂度。

    一种长波长InGaN基发光二极管的外延结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN117747725A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311727409.9

    申请日:2023-12-15

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种长波长InGaN基发光二极管的外延结构及其制备方法。本发明括衬底、非故意掺杂的氮化镓层、n型掺杂的氮化镓层、长沟槽型多量子阱、修复层、发光多量子阱和p型掺杂的氮化镓层;沟槽型多量子阱表面具有环状V型坑,为沟槽型多量子阱和修复层提供应力弛豫,使得修复层的晶格得到扩张,有利于提高发光多量子阱中的铟并入,并且作为空间隔离,避免环状V型坑内部的量子阱中的载流子受到外部缺陷的影响;修复层修复低温生长的沟槽型多量子阱的粗糙表面,为后续生长的发光多量子阱提供平整的生长表面;修复层作为空穴阻挡层,阻挡来自p型掺杂的氮化镓层的空穴进入到沟槽型多量子阱中,使得空穴集中于发光多量子阱中用于辐射复合。

    反应器及生长装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117062945A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202080108140.4

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 本申请实施例提供一种反应器及生长装置,通过反应器本体的内部具有反应腔室,反应器本体上相对的两个侧壁上分别设有进气口和出气口,进气口和出气口均与反应腔室连通,反应腔室分隔为第一腔室和第二腔室,进气口包括第一进气口以及第二进气口,第一进气口和出气口分别与第一腔室连通,第二进气口与第二腔室连通,且第一腔室和所述第二腔室之间具有多个将第一腔室和第二腔室连通的控流通孔,能够提高反应气体与金属源的反应转化率,从而能够提高晶体的生长速率。

    一种改善非视觉效应的广色域显示方法

    公开(公告)号:CN114333617B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202111551219.7

    申请日:2021-12-17

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种改善非视觉效应的广色域显示方法。本发明通过设定目标显示色彩,构建起四基色显示技术中单个micro‑LED发光特性与显示色域和非视觉效应的关系,包括显示发光的蓝光危害和生物节律影响;通过对显示色域和非视觉效应相关参数的优化,得到单个micro‑LED的峰值波长和光谱半宽;并在一定范围内改变优化的峰值波长和光谱半宽,计算色域覆盖率的变化;优化过程中,除了考虑显示D65白光时的显示屏发光的非视觉效应,还考虑显示其他色彩时的非视觉效应,真实反映全彩显示的非视觉效应;利用本发明,能够在保持广色域的同时,降低显示设备发光的蓝光危害和生物节律影响,并具有高色域稳定性。

    一种改善非视觉效应的广色域显示方法

    公开(公告)号:CN114333617A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111551219.7

    申请日:2021-12-17

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种改善非视觉效应的广色域显示方法。本发明通过设定目标显示色彩,构建起四基色显示技术中单个micro‑LED发光特性与显示色域和非视觉效应的关系,包括显示发光的蓝光危害和生物节律影响;通过对显示色域和非视觉效应相关参数的优化,得到单个micro‑LED的峰值波长和光谱半宽;并在一定范围内改变优化的峰值波长和光谱半宽,计算色域覆盖率的变化;优化过程中,除了考虑显示D65白光时的显示屏发光的非视觉效应,还考虑显示其他色彩时的非视觉效应,真实反映全彩显示的非视觉效应;利用本发明,能够在保持广色域的同时,降低显示设备发光的蓝光危害和生物节律影响,并具有高色域稳定性。

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