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公开(公告)号：CN110468383A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201810450085.1
申请日：2018-05-11
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明提供一种工艺套件及反应腔室，在该工艺套件表面设置有花纹结构，该花纹结构包括多个凹部，每个凹部包括球形凹面。本发明提供的花纹结构，其不仅可以有效提高颗粒控制效果，而且不会对工艺套件表面造成损伤，从而提高了工艺套件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110468383B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201810450085.1
申请日：2018-05-11
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明提供一种工艺套件及反应腔室，在该工艺套件表面设置有花纹结构，该花纹结构包括多个凹部，每个凹部包括球形凹面。本发明提供的花纹结构，其不仅可以有效提高颗粒控制效果，而且不会对工艺套件表面造成损伤，从而提高了工艺套件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110468377B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201810450381.1
申请日：2018-05-11
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明提供一种腔室及半导体加工设备，在腔室内设置有工艺组件及用于在腔室空闲时烘烤工艺组件的加热装置，还包括温度监控装置，用于监测工艺组件的温度；根据工艺组件的温度，来调节加热装置的输出功率，以将工艺组件的温度维持在目标温度。本发明提供的腔室，其可以避免因工艺组件的温度波动大而造成的颗粒增加，从而可以延长工艺组件清洗周期，提高机台利用率。
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公开(公告)号：CN110468377A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201810450381.1
申请日：2018-05-11
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明提供一种腔室及半导体加工设备，在腔室内设置有工艺组件及用于在腔室空闲时烘烤工艺组件的加热装置，还包括温度监控装置，用于监测工艺组件的温度；根据工艺组件的温度，来调节加热装置的输出功率，以将工艺组件的温度维持在目标温度。本发明提供的腔室，其可以避免因工艺组件的温度波动大而造成的颗粒增加，从而可以延长工艺组件清洗周期，提高机台利用率。
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公开(公告)号：CN107393856B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201610324318.4
申请日：2016-05-16
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种下电极装置、半导体加工设备及残余电荷释放方法。该下电极装置包括静电卡盘、直流电源、顶针和电流测量装置，所述静电卡盘用于支撑、固定被加工件；所述直流电源与所述静电卡盘电连接，用以向所述静电卡盘提供静电吸附的能量；所述顶针包括导电的内芯和包裹所述内芯的外层，所述内芯与地连接。等离子体加工装置可减少晶片表面缺陷，有效地避免粘片现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107393856A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201610324318.4
申请日：2016-05-16
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司 , 北京大学
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/6833
Abstract: 本发明提供一种下电极装置、半导体加工设备及残余电荷释放方法。该下电极装置包括静电卡盘、直流电源、顶针和电流测量装置，所述静电卡盘用于支撑、固定被加工件；所述直流电源与所述静电卡盘电连接，用以向所述静电卡盘提供静电吸附的能量；所述顶针包括导电的内芯和包裹所述内芯的外层，所述内芯与地连接。等离子体加工装置可减少晶片表面缺陷，有效地避免粘片现象。
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公开(公告)号：CN101409845B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200810225457.7
申请日：2008-10-31
Applicant: 北京大学软件与微电子学院
IPC: H04N7/32
Abstract: 本发明公开了一种AVS视频编码中的视频失真度估计方法及其装置，属于视频编解码领域。本发明的方法为：首先对输入的残差值数据进行整数变换，并对变换系数进行缩放；然后对缩放后的数据进行量化，同时保存缩放后的数据；对量化后的数据进行反量化，并将输出的反量化数据与保存的缩放后的数据进行比较，得到像素经量化和反量化后的失真值；最后对失真值进行放大和移位调节，得到像素的失真度。本发明的装置包括残差模块、变换模块、预缩放模块、FIFO模块、量化模块、反量化模块、后缩放模块、失真度加和模块。与现有技术相比，本发明大大的提前了决策时间，降低了流水线深度，同时本发明的算法更加逼近真实的失真度，提高了视频质量。
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公开(公告)号：CN101355700B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810119769.X
申请日：2008-09-09
Applicant: 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明公开了一种并行类熵编码方法及其装置，属于视频编解码领域。本发明的方法为：首先将每个变换块的量化系数分组并行输入输出于两寄存器组；然后扫描每组量化系数的编码系数(run，level)；根据已编码系数中的level最大值选择当前量化系数的码表，以及根据所有编码系数的level最大值选择该变换块EOB的码表；最后将所选的码表转换为位宽表，计算该变换块编码比特数。本发明的装置包括数据输入转存模块、游程编码模块、倒序矩阵模块、码表选择模块、查表模块、哥伦布编码模块、加和变换块的比特数模块。本发明大大提高了数据处理速度，优化了表格，同时节省了硬件资源。
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公开(公告)号：CN100505884C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200710120550.7
申请日：2007-08-21
Applicant: 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 本发明公开了一种分水岭图像分割处理方法，其主要分三步完成，即分水岭算法的前处理过程，滤掉不必要的噪声点；分水岭处理过程，对象素点进行排序和标号扩展；分水岭后处理过程，来减小过渡分割的影响；该方法速度比VINCENT-SOILLE方法快2倍，分割效果与其相当，同时保留了大部分对图像分割有益的信息，因此在对分割时间有严格限制的场合中，尤其在实时视频对象提取中，会有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101340577A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200710122842.4
申请日：2007-07-06
Applicant: 北京大学软件与微电子学院
Abstract: 一种基于方向滤波和自适应边界判定的低复杂度视频后处理方法和系统。按照块内和块外的不同情况分别使用不同的方法进行处理，提出了有效的区分块边缘情况的算法，针对块边缘的不同情况使用适当的滤波器进行滤波，能够有效地去除块效应，提升视频质量。而且算法复杂度低，适于使用VLSI硬件实现。
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