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公开(公告)号:CN105940149A
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201580006861.3
申请日:2015-02-27
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: C30B29/36
CPC classification number: H01L29/1608 , C01B32/956 , C30B7/005 , C30B15/04 , C30B29/36
Abstract: 本发明一实施方式中的碳化硅晶锭(1)包括分别含有供体或受体、且交替配置的多个第一结晶层(3)和多个第二结晶层(4),第二结晶层(4)中的供体或受体的浓度大于与其上部或下部相接的第一结晶层(3)中的供体或受体的浓度。
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公开(公告)号:CN102484176A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080040200.X
申请日:2010-09-29
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H01L33/405 , H01L33/38
Abstract: 本发明的一实施方式的发光元件具备:按顺序层叠有第一半导体层(2a)、发光层(2b)及第二半导体层(2c)的光半导体层(2);与第一半导体层(2a)电连接的第一电极层(3);与第二半导体层(2c)电连接的第二电极层(7)。另外,第二电极层(7)具有位于第二半导体层(2c)上的导电反射层(4)及位于导电反射层(4)上并且具有多个贯通厚度方向的贯通孔(6)的导电层(5)。本发明的发光元件的制造方法具有:准备光半导体层(2)和按顺序层叠有第一金属层(21)及熔点比第一金属层(21)的氧化物高的第二金属层(22)的层叠体(30)的工序;在第二金属层(22)上形成贯通厚度方向的多个贯通孔(6)的工序。而且,本发明的发光元件的制造方法还具备:之后在比第一金属层(21)的氧化物的熔点高且比第一金属层(21)的熔点及第二金属层(22)的熔点的任何一方都低的温度下对层叠体(30)进行加热,将光半导体层(2)与第一金属层(21)的界面区域氧化的工序。
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公开(公告)号:CN113490995A
公开(公告)日:2021-10-08
申请号:CN202080016757.3
申请日:2020-02-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/20 , H01L21/205
Abstract: 本公开的半导体元件的制造方法包含:元件形成工序(S1),在基底基板(11)上形成半导体元件(15),所述半导体元件(15)经由连接部(13b)而与基底基板(11)连接,并且具有相对于基底基板(11)的生长面倾斜的上表面(15a);准备工序(S2),准备具有与基底基板(11)对置的对置面(16c)的支承基板(16);接合工序(S3),将半导体元件(15)的上表面(15a)向支承基板(16)的对置面(16c)按压以及进行加热,将半导体元件(15)的上表面(15a)和支承基板(16)接合;以及剥离工序(S4),将半导体元件(15)从基底基板(11)剥离。
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公开(公告)号:CN119998924A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202380073349.5
申请日:2023-10-19
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/205
Abstract: 具备:包含在第1方向上并排的第1籽晶区域以及生长抑制区域的模板基板;和位于所述模板基板的上方的第1半导体部,所述第1半导体部具有:位于所述第1籽晶区域上的第1基部;和与所述第1基部连接且隔着第1空隙与所述生长抑制区域面对面的第1翼部,所述第1翼部包含:位于所述生长抑制区域的上方的翼端,所述第1空隙的所述第1方向的宽度相对于所述翼端下的厚度的比为5.0以上。
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公开(公告)号:CN116783335A
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202180087640.9
申请日:2021-12-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: C30B25/04
Abstract: 具备:异种基板(1);具有开口部(KS)以及掩模部(5)的掩模层(6);与开口部重叠的晶种部(3S);和配置于晶种部上以及掩模部上的包含GaN系半导体的半导体层(8),在半导体层的有效部(YS)的上表面包含在沿着开口部的宽度方向的第1方向上具有10μm的尺寸、在与第1方向正交的第2方向上具有10μm的尺寸的至少1个低缺陷区域(AL),在低缺陷区域(AL)中,通过CL法没有测到线状缺陷。
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公开(公告)号:CN109075526A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201780023759.3
申请日:2017-04-18
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01S5/022
Abstract: 发光元件收纳用构件(A1)具有基体(1),基体(1)由陶瓷构成,且在内部具有将至少一处设为开口部(5)的深底型的空间部(7),空间部(7)的内壁成为发光元件(9)的搭载部(11)。发光元件收纳用构件(A1)具有基体(21),基体(21)具有用于搭载发光元件(9)的搭载部(26),且具备俯视观察时的形状为矩形形状的底部基材(22)以及在底部基材(22)上以将搭载部(26)呈コ状包围且将至少一处设为开口部(27)的方式设置的壁构件(23),基体(21)由陶瓷一体形成。
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公开(公告)号:CN120015705A
公开(公告)日:2025-05-16
申请号:CN202510136611.7
申请日:2020-02-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/78 , H10D62/10 , H10H20/819 , H10H20/01
Abstract: 提供一种半导体基板。本公开的半导体元件的制造方法包含:元件形成工序(S1),在基底基板(11)上形成半导体元件(15),所述半导体元件(15)经由连接部(13b)而与基底基板(11)连接,并且具有相对于基底基板(11)的生长面倾斜的上表面(15a);准备工序(S2),准备具有与基底基板(11)对置的对置面(16c)的支承基板(16);接合工序(S3),将半导体元件(15)的上表面(15a)向支承基板(16)的对置面(16c)按压以及进行加热,将半导体元件(15)的上表面(15a)和支承基板(16)接合;以及剥离工序(S4),将半导体元件(15)从基底基板(11)剥离。
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公开(公告)号:CN113490995B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202080016757.3
申请日:2020-02-28
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/20 , H01L21/205
Abstract: 本公开的半导体元件的制造方法包含:元件形成工序(S1),在基底基板(11)上形成半导体元件(15),所述半导体元件(15)经由连接部(13b)而与基底基板(11)连接,并且具有相对于基底基板(11)的生长面倾斜的上表面(15a);准备工序(S2),准备具有与基底基板(11)对置的对置面(16c)的支承基板(16);接合工序(S3),将半导体元件(15)的上表面(15a)向支承基板(16)的对置面(16c)按压以及进行加热,将半导体元件(15)的上表面(15a)和支承基板(16)接合;以及剥离工序(S4),将半导体元件(15)从基底基板(11)剥离。
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