公开(公告)号：CN111967100B

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202010725389.1

申请日：2020-07-24

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  傅云霞 ,  曹程明 ,  孙佳媛 ,  张波 ,  曾燕华 ,  谢张宁

IPC: G06F30/17 ,  G06F30/27 ,  G06N3/006

Abstract: 本发明为一种基于改进蚁群算法拟合螺纹中轴线的方法，其特征在于：步骤1：由光学扫描或螺纹测量仪器获得螺纹表面点云的三维坐标数据作为改进蚁群算法的输入样本；步骤2：根据螺纹表面三维坐标点到中轴线的距离方差最小的原则建立立体几何数学模型，根据两点确定一条直线的原则确定螺纹内部区域内两点共6个坐标值；步骤3：将采集的螺纹三维数据投影到二维面上，估算出中轴线上两点坐标共六个参数的初始区间；步骤4：建立改进蚁群算法框架，算法框架由设置初始状态，信息素更新，设定选择概率，选定转移方法，贪婪处理以及结束原则六部分组成。步骤5：通过拟合程序将上述步骤过程及获得的数据整合后输出螺纹中轴线的两点式。

公开(公告)号：CN111967100A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN202010725389.1

申请日：2020-07-24

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  中国计量大学

Inventor： 雷李华 ,  傅云霞 ,  曹程明 ,  孙佳媛 ,  张波 ,  曾燕华 ,  谢张宁

IPC: G06F30/17 ,  G06F30/27 ,  G06N3/00

Abstract: 本发明为一种基于改进蚁群算法拟合螺纹中轴线的方法，其特征在于：步骤1：由光学扫描或螺纹测量仪器获得螺纹表面点云的三维坐标数据作为改进蚁群算法的输入样本；步骤2：根据螺纹表面三维坐标点到中轴线的距离方差最小的原则建立立体几何数学模型，根据两点确定一条直线的原则确定螺纹内部区域内两点共6个坐标值；步骤3：将采集的螺纹三维数据投影到二维面上，估算出中轴线上两点坐标共六个参数的初始区间；步骤4：建立改进蚁群算法框架，算法框架由设置初始状态，信息素更新，设定选择概率，选定转移方法，贪婪处理以及结束原则六部分组成。步骤5：通过拟合程序将上述步骤过程及获得的数据整合后输出螺纹中轴线的两点式。

公开(公告)号：CN117029725A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310518456.6

申请日：2023-05-09

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 邹文哲 ,  郭创为 ,  管钰晴 ,  张玉杰 ,  雷李华 ,  傅云霞 ,  沈瑶琼 ,  曹程明

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种相位测量轮廓术多频外差相位展开的相位跳变误差消除方法，基于多频外差原理，通过后一像素点相位幅值减去当前像素点相位幅值计算展开相位的梯度，找出展开相位中可能存在误差的可疑点，根据误差的幅值判断误差来源并确定误差的起始和终止像素点位置，消除跳变误差并对跳跃点处加以平滑，该方法可判别实际形貌落差与跳变误差，消除阴影部分以外的跳变误差部分，使相位展开后得到的绝对相位更加平整且无跳变，从而使得整幅光栅条纹的相位展开图连续、光滑、无跳变，提高了三维形貌测量结果的精确度及稳定性。

公开(公告)号：CN115877037A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211365264.8

申请日：2022-11-03

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  同济大学

Inventor： 雷李华 ,  曹程明 ,  熊英凡 ,  谢张宁 ,  邓晓 ,  程鑫彬 ,  管钰晴 ,  邹文哲 ,  傅云霞

IPC: G01Q40/00

Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。

公开(公告)号：CN115112028A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210957257.0

申请日：2022-08-10

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 雷李华 ,  曹程明 ,  沈瑶琼 ,  管钰晴 ,  邹文哲 ,  傅云霞

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明为一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法，属于纳米薄膜厚度的光学测量领域。本发明装置依次为激光光源、滤光轮、光隔离器、反射镜组、起偏调制模块、样品台、检测调制模块和信号采集处理模块；所述激光光源发出激光光束，激光光束依次经所述滤光轮、光隔离器和反射镜组后以入射角θ输出进入起偏调制模块，形成调制偏振光入射到样品台上的待测样品后反射进入检偏调制模块进行偏振态调制，最后进入信号采集处理模块被所述硅探测器接收；所述信号采集单元将所述硅探测器接收到的光强信号转换为数字信号，并进行数据处理。

公开(公告)号：CN217716312U

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202222097838.X

申请日：2022-08-10

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 雷李华 ,  曹程明 ,  沈瑶琼 ,  管钰晴 ,  邹文哲 ,  傅云霞

IPC: G01B11/06

Abstract: 本实用新型为一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置，属于纳米薄膜厚度的光学测量领域。本实用新型装置包括激光光源、滤光轮、光隔离器、反射镜组、起偏调制模块、样品台、检测调制模块和信号采集处理模块；所述激光光源发出激光光束，激光光束依次经所述滤光轮、光隔离器和反射镜组后以入射角θ输出进入起偏调制模块，形成调制偏振光入射到样品台上的待测样品后反射进入检偏调制模块进行偏振态调制，最后进入信号采集处理模块被所述硅探测器接收；所述信号采集单元将所述硅探测器接收到的光强信号转换为数字信号，并进行数据处理。