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公开(公告)号：CN107170002B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201710307961.0
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及图像采集技术领域，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。所述方法包括：获得第一图像，根据所述第一图像获得第一目标图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，根据像素灰度值和像素灰度平均值获得所述第二目标图像的对焦评价函数的值；根据所述对焦评价函数的极值获得第三目标图像。通过上述技术方案，解决了现有图像对焦技术扫描采集时间长，对焦灵敏度低的技术问题，具有使SEM快速、精密对焦的技术效果。
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公开(公告)号：CN107170002A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710307961.0
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及图像采集技术领域，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。所述方法包括：获得第一图像，根据所述第一图像获得第一目标图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，根据像素灰度值和像素灰度平均值获得所述第二目标图像的对焦评价函数的值；根据所述对焦评价函数的极值获得第三目标图像。通过上述技术方案，解决了现有图像对焦技术扫描采集时间长，对焦灵敏度低的技术问题，具有使SEM快速、精密对焦的技术效果。
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