公开(公告)号：CN110190509A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201910443275.5

申请日：2019-05-24

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 郑婉华 ,  渠红伟 ,  张玉芳 ,  齐爱谊 ,  陈忠浩 ,  周旭彦 ,  贾宇飞

IPC: H01S5/0687 ,  H01S5/32

Abstract: 本发明提供了一种基于光子晶体激光器的波长稳定激光光源，包括：管壳、半导体制冷器、过渡块、热沉、低发散角单模光子晶体激光芯片、热敏电阻、背光探测器，带光纤光栅的球形光纤等组成。该激光光源采用低发散角单模光子晶体激光芯片与光纤光栅的相结合的双重波长稳定技术，具有更高的波长稳定性，能够有效减小驱动电流、温度与光反馈相关因素对波长稳定性影响。该激光光源中低发散角单模光子晶体激光芯片利用复合光子晶体等对光场和模式调控机制，仅需一次外延和普通光刻制备技术，从芯片层次降低激光器发散角，实现单模输出，简化光束整形，实现与球形光纤直接耦合，不仅具有高光纤耦合效率，而且大大降低装调难度，低制作成本。

公开(公告)号：CN101316025A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200710099864.3

申请日：2007-05-31

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 徐云 ,  陈良惠 ,  张玉芳 ,  宋国峰 ,  李玉璋 ,  种明 ,  郑婉华 ,  曹青

IPC: H01S5/00 ,  G02B6/42

Abstract: 本发明涉及半导体激光器技术领域，公开了一种红光铝镓铟磷半导体激光器光纤耦合模块的制备方法，包括：在N型镓砷衬底上依次制备镓砷缓冲层和镓铟磷缓冲层；在镓铟磷缓冲层上依次制备铝镓铟磷限制层、光波导层和有源层，并形成分别限制异质结构；在外延片上光刻腐蚀出光台面；在出光台面上淀积电绝缘膜；在电绝缘膜上制备P面电极；对N型衬底减薄抛光后制备N面电极；将具有P、N电极的片子解理成条作为激光器的谐振腔面，并在激光器前后腔面蒸镀增透膜和高反膜；将单管芯激光器烧结到铜热沉上；采用柱透镜压缩半导体激光器的垂直发散角；采用自聚焦透镜将半导体激光器的光束压缩聚焦并耦合到多模光纤中。本发明利于制备大功率的半导体激光器。

公开(公告)号：CN106785895A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611079549.X

申请日：2016-11-30

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 郑婉华 ,  陈洋 ,  张玉芳 ,  王梅

IPC: H01S5/06

CPC classification number: H01S5/06

Abstract: 本发明公开了一种基于光子晶体激光器合束的装置，该装置包括管壳；阶梯热沉，用于放置光子激光器短巴条，不同台阶高度的光子激光器短巴条出射的激光经过反射镜后，可以实现快轴方向光斑的叠加；球面透镜，用于同时压缩快慢轴方向发散角；反射镜，用于改变激光传播方向；聚焦耦合镜，用于将激光合束后(快轴方向叠加)的光束耦合进光纤；本发明减少了使用透镜的数量及管壳体积，降低了制作成本，而且透镜装调更容易，装置的结构更紧凑，更容易耦合进小芯径光纤。该装置经过简单的扩展，亦可实现百瓦量级的耦合输出。

公开(公告)号：CN110086081B

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201910524087.5

申请日：2019-06-17

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 郑婉华 ,  渠红伟 ,  陈忠浩 ,  齐爱谊 ,  刘靖 ,  张玉芳 ,  周旭彦 ,  贾宇飞

IPC: H01S5/022 ,  H01S5/40

Abstract: 一种基于光子晶体激光阵列的微推进器光源，包括：管壳，为一台阶结构，该台阶结构包含底部和顶部；过渡热沉，制作于管壳的台阶结构的底部上；光子晶体激光阵列，倒装于过渡热沉上并与管壳固定，该光子晶体激光阵列包含多个电学隔离的激光单元，每个激光单元结构包含：半导体激光器，以及在该半导体激光器的外延结构方向引入的周期或准周期光子晶体结构；电路板，具有多路隔离的电路，固定于管壳的台阶结构的顶部上，各路电路分别与光子晶体激光阵列的各个激光单元电性连接，用于为各个激光单元单独供电。与现有技术相比，降低垂直发散角，提高了激光功率密度，提高了微推进器比冲，降低烧蚀脉冲宽度，简化高亮度微光光路设计，降低成本。

公开(公告)号：CN110086081A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201910524087.5

申请日：2019-06-17

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 郑婉华 ,  渠红伟 ,  陈忠浩 ,  齐爱谊 ,  刘靖 ,  张玉芳 ,  周旭彦 ,  贾宇飞

IPC: H01S5/022 ,  H01S5/40

Abstract: 一种基于光子晶体激光阵列的微推进器光源，包括：管壳，为一台阶结构，该台阶结构包含底部和顶部；过渡热沉，制作于管壳的台阶结构的底部上；光子晶体激光阵列，倒装于过渡热沉上并与管壳固定，该光子晶体激光阵列包含多个电学隔离的激光单元，每个激光单元结构包含：半导体激光器，以及在该半导体激光器的外延结构方向引入的周期或准周期光子晶体结构；电路板，具有多路隔离的电路，固定于管壳的台阶结构的顶部上，各路电路分别与光子晶体激光阵列的各个激光单元电性连接，用于为各个激光单元单独供电。与现有技术相比，降低垂直发散角，提高了激光功率密度，提高了微推进器比冲，降低烧蚀脉冲宽度，简化高亮度微光光路设计，降低成本。