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公开(公告)号：CN114200777B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202111576452.0
申请日：2021-12-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种方形基片夹持装置，用于在方形基片表面旋转涂覆流动介质。该装置包括固定基片座和辅助定位盘。所述固定基片座底部为传动件，用于该装置与电机旋转轴之间的传动连接。传动件连接带有通孔的圆形托盘，圆形托盘上有定位台阶，其外轮廓为半圆，内部有矩形凹槽，与方形基片贴合，用于基片定位。辅助定位盘形状与定位台阶形状互为镜像，底部具有凸出结构，其形状与圆形托盘上通孔匹配。圆形托盘定位台阶深度与基片厚度相同，固定基片座、方形基片和辅助定位盘组合后形成光滑平坦的上表面，且外轮廓为圆柱形，可提高流动介质在基片表面旋转涂覆的均匀性。
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公开(公告)号：CN104748686B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201510189200.0
申请日：2015-04-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法，该装置中从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经照射到待测件侧面掩模版，掩模版包含小孔或小孔阵列，小孔周围反射光的光强变化判断待测件的对准情况。待测件侧面固定掩模版，通过标定掩模版上小孔的位置，得到待测件在平移台上的相对位置信息。本发明小孔可以做到1μm量级，小孔对入射光位置很敏感，一旦入射光偏离小孔，光强会发生较大变化，测量精度在纳米量级。同时提出了一种利用小孔衍射波进行待测件定位的方法，其中关键部件掩模版包含小孔或小孔阵列，根据小孔周围反射光的变化判断待测件的对准情况。
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公开(公告)号：CN101986097A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010224887.4
申请日：2010-07-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法。首先通过干涉仪获得包含离焦、倾斜的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除倾斜、离焦的辅助数据。在待测球面半径的测试中使用白光干涉的方法保证了测量的精度。而后利用波面拟合对应项系数和倾斜误差、离焦误差的关系，以及离焦量和光程差的精确关系分步去除波面数据中常数项、倾斜误差和离焦误差，最后去除常数项、倾斜误差和离焦误差的残差以得到高精度的面形数据。本发明通过对球面干涉检测，特别是小F/#被检面的研究，提供了一种光学元件球面面形检测中消除离焦和倾斜影响的新方法，对高质量光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109581827B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201910026093.8
申请日：2019-01-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供了一种光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法，其装置包括：照明装置、分光装置、透镜阵列、掩模板、反射器件、光电探测装置和控制器；照明装置产生准直的光束，经分光装置透射，透镜阵列聚焦至掩模板进行空间滤波至光刻投影物镜，反射器件反射通过光刻投影物镜的聚焦光束；光电探测装置，探测所述反射器件反射光束经所述掩模板空间滤波后的光束强度并发出光束强度信号；控制器连接所述工件台和所述光电探测装置，控制所述工件台运动和/或采集所述光电探测装置探测的光束强度信号。本公开利用反射器件在光刻投影物镜光轴方向的移动，根据各个视场反射光强的变化，得到光刻投影物镜的最佳焦面位置。
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公开(公告)号：CN103954235B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410199400.X
申请日：2014-05-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种光学凸球面面形的检测装置及方法，该装置中，光源发出波长可变的线偏振准单色光，经滤波孔、第一扩束镜、空间滤波器、第二扩束镜、λ/4波片和第一聚焦透镜聚焦于小孔中心。一部分小孔衍射波经第二聚焦透镜照射到被测凸球面表面，经过反射后形成检测光束，经第二聚焦透镜聚焦于小孔附近，在小孔衍射板背面反射，再与另一部分作为参考光束的小孔衍射波发生干涉。将被测凸球面换为一随机球，其球心与被测凸球面球心位置重合，通过多次测量标定第二聚焦透镜引入的聚焦系统误差。本发明利用接近理想球面的小孔衍射波作为参考波，采用随机球法多次测量标定聚焦系统误差，能够实现对光学凸球面面形的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102445280A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110316482.8
申请日：2011-10-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种用于小孔标定的检测装置及方法，激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，第一路光经过衰减片、分束镜后经反射镜反射的光再经分束镜反射到第一小孔，第一小孔产生衍射球面波透射过分光镜；经过半透半反镜的第二路光经反射镜的光照射第二小孔，第二小孔产生的衍射球面波经分光镜反射后与第一小孔产生的衍射球面波发生干涉，干涉条纹经过聚光镜，再由光学探测器收集；并经过预定的更换操作解出三个小孔产生的衍射球面波的误差。本发明可以提高点衍射干涉仪的测量精度，降低高精度小孔的加工成本。
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公开(公告)号：CN113960897B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202111291709.8
申请日：2021-11-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC: G03F7/30
Abstract: 本发明提供一种显影装置及方法，包括显影槽、储存槽和温度控制单元。显影过程中，显影槽进液管阀门开启，循环泵从储存槽中抽取显影液进入显影槽，使显影液逐渐覆盖待显影基片。当液面到达溢流管后，显影液从溢流管回到储存槽，并在显影槽和储存槽中循环流动。显影结束后，显影槽进液管阀门关闭，排液管阀门开启。显影液通过排液管快速回到储存槽，待下次显影使用。储存槽中有显影液浓度检测仪，闭环控制显影液原液流入量和旧显影液流出量，使显影液浓度维持在设定范围内。温度控制单元和储存槽相连。本发明显影液同时接触待显影基片表面各个位置，并保持稳定的显影液浓度和温度，不需要每次全部更换显影液，提高了显影的效率、均匀性和稳定性。
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公开(公告)号：CN114799933A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210482357.2
申请日：2022-05-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC: B23P25/00
Abstract: 本发明公开了一种激光辅助切削刀具，所述刀具包括刀粒(1)、刀柄(2)，刀粒(1)焊接于刀柄(2)的一端上。本发明所述的一种激光辅助切削刀具，激光束(3)从刀粒(1)内部，通过内反射面(14)反射到刀尖(11)和前刀面(12)靠近刀尖(11)的位置上，从刀尖(11)和前刀面(12)射出并照射到被加工件(4)上，对被加工件(4)表面材料形成激光熔化作用后有利于刀尖(11)切削出高质量的光滑表面或降低刀具磨损并延长刀具的使用寿命。
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公开(公告)号：CN106707696A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611214860.0
申请日：2016-12-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
CPC classification number: G03F7/70591 , G01M11/02 , G03F7/706
Abstract: 本发明提供一种光刻投影物镜波像差与最佳焦面的检测方法，所述方法首先测量光刻投影物镜若干视场点两个不同焦面位置的波像差，再将各视场点波像差拟合为多项式组合。通过分析拟合多项式各项系数随焦面位置变化的特性，计算出各视场点的最佳焦点位置。最后，将各个视场点最佳焦点位置平均得到光刻投影物镜最佳焦面位置，然后由最佳焦面与实测焦面位置之间的偏移量计算得到最佳焦面处各视场点的波像差。本发明能够通过测量各视场点两个不同焦面位置的波像差实现光刻投影物镜最佳焦面的检测，并得到最佳焦面处各视场点的波像差，具有容易实现、高效率和高精度的特点。
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公开(公告)号：CN102889856B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201210372432.6
申请日：2012-09-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种基于CGH实现小孔中心定位的装置及其方法，该装置主要包括：实验平台（5），干涉仪（6）、标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、成像透镜（9）、CCD（10）和计算机（11），干涉仪（6）提供一束准直光，而标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、点衍射板（4）、成像透镜（9）和CCD（10）依次位于该准直光的光路中，并且它们的旋转中心轴与准直光束中心轴重合；CCD（10）经过模－数转换之后和计算机（11）连接，计算机（11）中配置图像处理软件和图像处理算法。本发明具有精度高、无需加工定位标记的优点，适合于需要对小孔中心进行精确定位的生产企业、科研和检测单位使用。
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