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公开(公告)号：CN118191362A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202211611735.9
申请日：2022-12-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供一种电容式微机械加速度计，电容式微机械加速度计的弹性支承结构包括2对具有特定几何形状的呈对称设置的非线性弯梁，该具有非线性弯梁的4弹性弯梁支承结构，能够在器件小尺寸条件下，降低微机械加速度计的弹性支承结构的刚度系数，从而可有效的提高电容式微机械加速度计的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118274809A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410246881.9
申请日：2024-03-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种压电陀螺仪，包括衬底，在所述衬底上依次形成的接地层、压电层和若干电极单元，以及用来将所述压电层锚定到所述衬底的支撑结构，所述压电层为空心正偶边形，所述电极单元扇形分布于所述空心正偶边形的表面并与所述压电层电连接；所述电极单元被设定为：驱动电极，用来输入驱动电压使所述压电层发生形变；检测电极，用来获取发生形变的所述压电层在陀螺仪转动时的输出电流。本发明能够克服电容式MEMS陀螺仪无法兼顾模态匹配条件下高灵敏度和大工作带宽的缺陷，且制造工艺简单，能够更有效降低工艺误差对陀螺性能带来的影响，减少陀螺模态之间的频率裂解，实现高精度MEMS陀螺的批量化制造。
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公开(公告)号：CN113049995B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201911378596.8
申请日：2019-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/028
Abstract: 本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路。本发明的磁强计具有较好的零漂移稳定性及较好的温度特性。
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公开(公告)号：CN108020688B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201711042279.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
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公开(公告)号：CN105699694A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610251519.6
申请日：2016-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 本发明提供一种基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统，包括：微机械加速度计、差分电荷放大器组件、高通滤波器、多位模数转换器、FPGA及工作时序控制反馈开关；差分电荷放大器组件的输入端与微机械加速度计相连接；高通滤波器的输入端与差分电荷放大器组件的输出端相连接；多位模数转换器的输入端与高通滤波器的输出端相连接，多位模数转换器的输出端与FPGA相连接；FPGA与微机械加速度计及工作时序控制反馈开关相连接；工作时序控制反馈开关的第一端与FPGA相连接，工作时序控制反馈开关的第二端与微机械加速度计相连接。本发明的微加速度计闭环检测电路系统具有简单容易实现、稳定性好、可移植性强的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107504964A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201710866384.9
申请日：2017-09-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明提供一种自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统，包括：微机械陀螺仪、前置接口放大电路、多位模数转换器组件、FPGA、多位数模转换器、反馈开关及自时钟模块。本发明的自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统具有较高的自适应性、通用性和一致性。
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公开(公告)号：CN114152266A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202010935517.5
申请日：2020-09-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS陀螺正交误差校正系统，包括：MEMS陀螺敏感模态电极，用于生成位移信号；预处理组件，与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于将所述位移信号转换为数字电压信号；数字解调组件，与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于根据所述数字电压信号生成同相1比特脉宽密度调制信号和正交相1比特脉宽密度调制信号，并反馈至所述MEMS陀螺敏感模态电极。本发明的MEMS陀螺正交误差校正系统能够在不增加特定校正电极的前提下，解决现有技术中对MEMS陀螺正交误差抑制能力和校正实时性不强的问题，有效提高了MEMS陀螺的精度。
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公开(公告)号：CN113049995A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201911378596.8
申请日：2019-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/028
Abstract: 本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路。本发明的磁强计具有较好的零漂移稳定性及较好的温度特性。
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公开(公告)号：CN107504964B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710866384.9
申请日：2017-09-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明提供一种自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统，包括：微机械陀螺仪、前置接口放大电路、多位模数转换器组件、FPGA、多位数模转换器、反馈开关及自时钟模块。本发明的自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统具有较高的自适应性、通用性和一致性。
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公开(公告)号：CN119555043A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411726694.7
申请日：2024-11-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C19/56 , G01C19/5656 , G01C19/00
Abstract: 本发明涉及一种陀螺仪，包括万向节支架和悬置于万向节支架上、绕万向节中心呈对称分布的四个主质量块，每个主质量块在靠近所述万向节支架的一侧均连接有第一跷跷板组件，并通过所述第一跷跷板组件附接至所述万向节支架，每个主质量块在远离所述万向节支架的一侧均连接有第二跷跷板组件，并通过所述第二跷跷板组件附接至相应的固定质量块，每个所述第一跷跷板组件均连接有驱动梳齿，驱动电压施加在所述驱动梳齿上，驱动所述第一跷跷板组件带动主质量块围绕Z轴在四波腹0度方向以驱动频率往复振动。本发明仅需一个驱动控制环路就能够实现三轴角速率检测，且结构简单，精度高，成本低。
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