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公开(公告)号：CN110568222B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
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公开(公告)号：CN110568222A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910761795.0
申请日：2019-08-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
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公开(公告)号：CN104280569B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201410548950.8
申请日：2014-10-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器由三个相互独立的加速度传感单元集成为一体，三个方向的信号不会相互耦合干扰，每个方向的加速度信号都能准确地输出提取；Z轴方向的加速度传感单元由相互平行设置的单端固支的固支板和位于固支板固支端的相互垂直的敏感电阻构成，有效地抑制了X轴、Y轴方向的加速度引起的横向干扰；并且通过对敏感结构的关键尺寸进行适当的设计修改，可以获得1万g~20万g的不同量程的具有抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器；三个方向的加速度传感单元在结构上存在相似之处，在工艺上均为制作微机械加工的常规工艺，在工艺上能够相互兼容，易于集成，制作成本较低，容易实现大规模生产。
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公开(公告)号：CN106443071A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610833591.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明采用两步测试法，分别得到电噪声频率谱和冲击频率谱，通过对电噪声频率谱的识别，可以较为准确地确定加速度传感器的共振频率；本发明在测试的过程中，采用金属杆自由落体与地面金属砧相互碰撞的方法获取较高的加速度，具有操作简单方便的特点；本发明即可以确定加速度传感器的共振频率，又可以确定加速度传感器系统的电噪声。
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公开(公告)号：CN100516882C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710037952.0
申请日：2007-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过程的输出波形。从时间历程分析上，由两个传感器产生的波同时被记录下来，主冲击波到达前沿能够容易够识别，且其加速度幅值可以确定下来；利用两次冲击过程即可以实现横向和敏感方向灵敏度的测试，通过计算即得到横向响应。本发明具有方便易行、容易识别且可获得冲击过程中敏感方向和非敏感方向的灵敏度，而不需要知道绝对加速度数值，适用于单轴、双轴或三轴加速度传感器与类似器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1603743A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410068145.1
申请日：2004-11-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度，实现陀螺灵敏度的温度自我补偿。其制备工艺是将体硅工艺和表面硅工艺相结合，用深反应离子刻蚀工艺完成主梁、微梁、扭转梁和质量块制作，最后将陀螺和盖板对准粘在一起完成制作。本发明提供的陀螺利用扩散在扭转梁上的四端器件实现压阻系数温度自我补偿，扦测时微梁没有弯曲，只有Z方向直拉直压。
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公开(公告)号：CN108020688B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201711042279.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
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公开(公告)号：CN106443071B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201610833591.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明采用两步测试法，分别得到电噪声频率谱和冲击频率谱，通过对电噪声频率谱的识别，可以较为准确地确定加速度传感器的共振频率；本发明在测试的过程中，采用金属杆自由落体与地面金属砧相互碰撞的方法获取较高的加速度，具有操作简单方便的特点；本发明即可以确定加速度传感器的共振频率，又可以确定加速度传感器系统的电噪声。
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公开(公告)号：CN108037315A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711033844.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置，包括温控箱、金属杆、第一信号放大电路、第二信号放大电路和计算机，所述金属杆一端用于固定待测加速度计，另一端用于固定参考加速度计，所述用于固定待测加速度计的一端置于温控箱内，用于固定参考加速度计的一端置于温控箱外；所述第一信号放大电路用于放大所述待测加速度计的输出信号，所述第二信号放大电路用于放大参考加速度计的输出信号；所述计算机分别与第一信号放大电路和第二信号放大电路输出端相连，通过比较法得到待测加速度计灵敏度输出随温度的变化关系。本发明还涉及测试方法。本发明具有冲击加速度大、直接、快速、安全可靠和较为准确的特点。
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公开(公告)号：CN101750519A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910200312.6
申请日：2009-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高量程加速度传感器的横向响应波的跟踪识别方法和使用的系统。其特征在于利用摩擦和碰撞等过程产生的电信号作为跟踪触发信号，同时利用声波在一定结构材料中传播时间是一固定常数进行时域上的尺度分析，可以对加速度传感器横向响应波信号进行跟踪和识别。本发明提供的自跟踪的方法无需外加触发装置或者传感器、应变计等，而只有一个加速度传感器。
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