公开(公告)号：CN118274809A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410246881.9

申请日：2024-03-05

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  李昕欣 ,  周景川

IPC: G01C19/56

Abstract: 本发明涉及一种压电陀螺仪，包括衬底，在所述衬底上依次形成的接地层、压电层和若干电极单元，以及用来将所述压电层锚定到所述衬底的支撑结构，所述压电层为空心正偶边形，所述电极单元扇形分布于所述空心正偶边形的表面并与所述压电层电连接；所述电极单元被设定为：驱动电极，用来输入驱动电压使所述压电层发生形变；检测电极，用来获取发生形变的所述压电层在陀螺仪转动时的输出电流。本发明能够克服电容式MEMS陀螺仪无法兼顾模态匹配条件下高灵敏度和大工作带宽的缺陷，且制造工艺简单，能够更有效降低工艺误差对陀螺性能带来的影响，减少陀螺模态之间的频率裂解，实现高精度MEMS陀螺的批量化制造。

公开(公告)号：CN119555043A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202411726694.7

申请日：2024-11-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  周景川 ,  杜世浩

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/00

Abstract: 本发明涉及一种陀螺仪，包括万向节支架和悬置于万向节支架上、绕万向节中心呈对称分布的四个主质量块，每个主质量块在靠近所述万向节支架的一侧均连接有第一跷跷板组件，并通过所述第一跷跷板组件附接至所述万向节支架，每个主质量块在远离所述万向节支架的一侧均连接有第二跷跷板组件，并通过所述第二跷跷板组件附接至相应的固定质量块，每个所述第一跷跷板组件均连接有驱动梳齿，驱动电压施加在所述驱动梳齿上，驱动所述第一跷跷板组件带动主质量块围绕Z轴在四波腹0度方向以驱动频率往复振动。本发明仅需一个驱动控制环路就能够实现三轴角速率检测，且结构简单，精度高，成本低。

公开(公告)号：CN119492365A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202311053413.1

申请日：2023-08-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  周景川

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5607

Abstract: 本发明提供一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括：衬底、器件层、驱动结构、驱动电极结构、检测结构、检测梁及检测电极单元，其中器件层固定于衬底上且包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元；驱动结构位于结构单元中且包括质量体、驱动框架、弹性梁、第一折叠梁、第一组合梁、第二组合梁及第三组合梁；驱动电极结构位于结构单元中且包括第一电容、第二电容及第三电容；检测结构位于结构单元中且包括检测框架及可动电极框架；检测梁位于结构单元中且与可动电极框架连接，其交叉端点连接质量体；多个检测电极单元位于检测框架内部区域，包括呈阵列排布的第四电容、第五电容、第六电容与第七电容。本发明的MEMS陀螺仪提升了机械灵敏度。