Patent search ap:("中国科学院上海微系统与信息技术研究所") AND inv:"熊瑞宏" Page 1

1.

发明公开
一种电容式微机械加速度计审中-实审

公开(公告)号：CN118191362A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202211611735.9

申请日：2022-12-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 熊瑞宏 , 李昕欣 , 陈方

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种电容式微机械加速度计，电容式微机械加速度计的弹性支承结构包括2对具有特定几何形状的呈对称设置的非线性弯梁，该具有非线性弯梁的4弹性弯梁支承结构，能够在器件小尺寸条件下，降低微机械加速度计的弹性支承结构的刚度系数，从而可有效的提高电容式微机械加速度计的灵敏度。

Patent Agency Ranking