公开(公告)号：CN109540839B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201811484743.5

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  邵建达 ,  王玺 ,  彭小聪 ,  李成 ,  马浩

IPC: G01N21/39

Abstract: 一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

公开(公告)号：CN108981923B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201810819131.0

申请日：2018-07-24

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  李成 ,  彭小聪 ,  贺婷 ,  邵建达

IPC: G01J5/00

Abstract: 一种在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置包括：由连续激光器、可供样品放置的样品台、第一固定安装式红外热像仪和第一计算机构成的测量连续激光作用下光学元件表面精确温升装置，由固体表面热电偶、可供样品放置的高温恒温加热台、第二固定安装式红外热像仪和第二计算机构成的标定等效辐射率系数ε′装置；及方法。本发明为连续激光系统中光学元件表面温升的直接测量提供参考，在测量之前先对固定安装式红外热像仪的等效辐射率系数进行标定。

公开(公告)号：CN109540839A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811484743.5

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  邵建达 ,  王玺 ,  彭小聪 ,  李成 ,  马浩

IPC: G01N21/39

Abstract: 一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

公开(公告)号：CN110542684A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910722421.8

申请日：2019-08-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  马浩 ,  邵建达 ,  李大伟 ,  刘晓凤 ,  邵宇宸 ,  李成 ,  李婷

IPC: G01N21/84 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损伤时的激光能量密度Fth；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi)，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n；S3、将激光能量密度的高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN；S4、不断改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。

公开(公告)号：CN110542684B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201910722421.8

申请日：2019-08-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  马浩 ,  邵建达 ,  李大伟 ,  刘晓凤 ,  邵宇宸 ,  李成 ,  李婷

IPC: G01N21/84 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损伤时的激光能量密度Fth；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi)，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n；S3、将激光能量密度的高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN；S4、不断改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。

公开(公告)号：CN108981923A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810819131.0

申请日：2018-07-24

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  彭丽萍 ,  刘晓凤 ,  李大伟 ,  李成 ,  彭小聪 ,  贺婷 ,  邵建达

IPC: G01J5/00

Abstract: 一种在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置包括：由连续激光器、可供样品放置的样品台、第一固定安装式红外热像仪和第一计算机构成的测量连续激光作用下光学元件表面精确温升装置，由固体表面热电偶、可供样品放置的高温恒温加热台、第二固定安装式红外热像仪和第二计算机构成的标定等效辐射率系数ε′装置；及方法。本发明为连续激光系统中光学元件表面温升的直接测量提供参考，在测量之前先对固定安装式红外热像仪的等效辐射率系数进行标定。