基于MEMS开关的太赫兹可重构频率选择表面

    公开(公告)号:CN118943749A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411155641.4

    申请日:2024-08-22

    Abstract: 本发明公开了基于MEMS开关的太赫兹可重构频率选择表面,属于太赫兹无线通信设备领域,主要应用于1~2THz的天线罩。该频率选择表面由MEMS可重构电磁结构单元周期排列而成,其单元为三维结构,从下到上依次为石英衬底、金属双开口谐振环、氮化硅介质层与MEMS金属薄膜;MEMS金属薄膜等效为悬臂梁结构,其锚区与金属双开口谐振环相连接,梁与其下方的氮化硅介质层、矩形贴片形成平行板电容,通过加载偏置电压实现MEMS开关的上下态切换,进而实现频率选择。采用上述基于MEMS薄膜开关的频率选择表面,结构简单、馈电方便,可以在宽频带范围内实现透射频段和反射频段的可重构,主要应用于雷达、太赫兹通信与电子对抗等设备的天线罩中。

Patent Agency Ranking