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公开(公告)号：CN115096823B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202210696967.2
申请日：2022-06-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/21
Abstract: 本申请提供一种薄膜结构检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及薄膜检测领域，该方法包括：在预设振子模型中新增振子，由新增振子后的预设振子模型表征待检测薄膜的光学参数；基于预设算法确定待检测薄膜的椭偏参数与模拟椭偏参数的最小拟合均方根差，并拟合得到反映待检测薄膜对应的色散曲线以及相应的振子参数；将色散曲线与由新增振子前预设振子模型，与预设算法确定的初始色散曲线进行比较，并分析相应振子参数的物理意义，基于分析结果确定待检测薄膜的结构。采用本申请的方法可以通过振子对薄膜中光学介质材料光学参数的影响确定薄膜的结构形态，避免采用价格昂贵的检测仪器，从而降低检测成本。
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公开(公告)号：CN116372360A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310144768.5
申请日：2023-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23K26/064 , G02B27/09 , G02B26/08 , G02B26/10 , B23K26/046 , B23K26/06 , B23K26/082 , B23K26/073 , B23K26/382
Abstract: 本发明提供一种微孔旋切扫描加工光学系统，通过偏振调节部件、光束整形部件、快反镜和旋切加工镜头实现精密微孔加工和异型孔的加工，孔径范围数十到几百微米尺寸；其中，本发明通过扩束镜与光阑作为光束整形部件来代替道威棱镜的功能，实现圆对称光束；通过快反镜实现任意光束轨迹扫描，通过旋切加工镜头产生先汇聚再离轴聚焦的光束走向；本发明的整个系统无高速旋转部件，避免了轴跳可能导致加工的偏差，单个快反镜控制实现容易，能实现陡直孔、锥形孔和异型孔等孔型的加工；同时，整个系统总长短，镜组为长条结构，紧凑、稳定，在相同焦距参数下能够实现更小孔径的加工。
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公开(公告)号：CN114425732B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210355185.2
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 发明适用于光学加工技术领域，提供了一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质，子口径加工工艺的自动优选方法包括如下步骤：获取不同去除函数的有效去除速率谱，所述有效去除速率谱为去除函数修正各空间频率误差体积的收敛速率；获取光学元件的体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件的面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过所述有效去除速率谱和体积谱密度函数得到优选加工工艺。本发明提供的一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质具有加工效率高、生产成本低的优势。
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公开(公告)号：CN118866419A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410889257.0
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种纳米周期多层膜及其制备方法与应用。针对极紫外到X射线波段极短波长多层膜反射率受限于多层膜膜层界面粗糙度和膜层成分混合导致反射率下降的问题本发明通过纳米间隔层结合离子辅助动态调控技术解决了纳米膜层界面结构粗糙σr和成分扩散σd协同抑制难题，该方法简单易行，适用于极紫外到X射线波段的多层周期结构高反射膜层的反射率提升，可应用于X射线成像诊断、同步辐射光源和X光荧光分析等领域。
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公开(公告)号：CN118781185A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410764610.2
申请日：2024-06-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供的基于视觉图像亚像素定位实现面形绝对检测中心对准方法及光学系统，涉及光学技术领域。该方法包括获得干涉仪成像视场在零条纹下的检测视场图像；获得被检测光学元件相对标准参考镜旋转多个角度所对应的检测视场图像；根据检测视场图像获得亚像素图像边缘信息；根据亚像素图像边缘信息提取被检测光学元件的特征标识点；根据特征标识点计算旋转平台的旋转中心坐标；根据旋转中心坐标与被检元件当前位置几何中心坐标，调整被检测光学元件，以使被检测光学元件的中心与旋转平台的中心高精重合。本发明方法原理简单，无需增加其他的辅助装置，利用视觉图像实现中心定位校准，更加高精高效。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117001467A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310669577.0
申请日：2023-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B55/00 , B24B55/02
Abstract: 本发明涉及轻量化结构的反射镜磨削热膨胀抑制装置，包括安装基体，其顶部对应轻量化结构的反射镜上的减重孔设置有热空气疏散通道，热空气疏散通道与外界连通，反射镜的磨削累积热量使减重孔内的空气膨胀，膨胀后的空气通过热空气疏散通道排出，始终保持减重孔与机床工作台处于非封闭状态；装夹机构，安装基体位于反射镜周围设置有多组弹性夹持机构，装夹机构用于弹性夹持反射镜稳定固定于安装基体顶部。本发明实现了带有轻量化结构反射镜高刚度装夹，降低了装夹应力，避免了因磨削热累计引起的弹性空气薄膜对元件加工精度和加工确定性的影响，提高了元件的加工精度和全流程加工效率，对实现大口径反射镜元件超精密光学制造具有重要的作用。
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公开(公告)号：CN116140835A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310144766.6
申请日：2023-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23K26/382 , B23K26/142 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光微孔加工吹气装置，从上至下分别安装有聚焦镜头、电动旋转台以及吹气模块，其中，吹气模块可随电动旋转台的旋转而转动，且吹气模块包括同轴吹气嘴、吹气针、电动促动器、铰链以及软管；本发明通过自动化调节离轴吹气的倾斜角度，能够解决高深径比微孔加工过程中离轴吹气点偏离微孔入口的问题，进而实现高深径比微孔的高效、精密加工；同时，本发明通过吹气模块的旋转，能够解决大角度倾斜孔加工时，待加工样品与离轴吹气嘴之间的空间干涉问题，尤其是当加工曲面上的微孔时，可根据实际需要通过电动旋转台转动吹气模块的位置，从而实现较优的加工效果。
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公开(公告)号：CN113275977B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202110632150.4
申请日：2021-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B51/00 , G01B11/24 , G05B19/404
Abstract: 本发明公开了非球面光学元件加工机床导轨形状误差的确定性补偿方法，包括以下步骤：仿真分析机床导轨受力变形；实测导轨形状误差；计算加工工况下导轨形状误差分布；根据非球面方程，获取非球面光学元件表面各点坐标，结合非球面平行磨削砂轮运动控制点坐标传递函数模型，获取磨削过程中砂轮运动控制点阵坐标；叠加导轨形状误差，得到具有误差修正的砂轮运动控制点阵坐标；按照修正后的砂轮运动控制点坐标形成的加工轨迹进行磨削加工，实现导轨形状误差的确定性控制。本发明可以实现非球面成形加工过程中对机床导轨形状误差的确定性补偿控制，消除导轨形状误差与磨削力引起导轨变形而对元件最终加工精度的影响，提高元件的成形加工精度。
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公开(公告)号：CN110749606A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911111161.7
申请日：2019-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/95 , G01N21/958 , G01N21/88
Abstract: 本申请实施例提供一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统，涉及光学测量技术领域，该方法包括：控制第一光源和第二光源对光学元件进行照明；获取光学元件的照明图像；对照明图像进行图像增强处理，得到检测图像；输出检测图像。实施这种实施方式，能够提高对光学元件的激光损伤检测精度，并且避免一定的检测误差。
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公开(公告)号：CN118781184A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410764552.3
申请日：2024-06-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供的基于波面梯度特征匹配的面形绝对检测中心对准方法及光学系统，涉及光学技术领域。该方法包括获取被检光学元件的初始面形数据及在多个旋转角度下对应的面形数据；对滤波后的面形数据进行二维梯度计算，得到具有多个特征标记点分布的二维总梯度数据；获得各特征标记点的精确定位坐标；获得被检光学元件的旋转中心坐标；获得标准参考镜的中心像素坐标；根据被检光学元件的旋转中心坐标和标准参考镜的中心像素坐标，调整被检光学元件使被检光学元件与标准参考镜对准。本发明主要用于解决光学元件面形绝对检测的旋转平移操作前，被检光学元件中心与参考面光轴中心的高精对准问题，具有方法原理简单、高精高效便捷的特点。
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