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公开(公告)号：CN109732439B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201910161067.6
申请日：2019-03-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种光学元件子口径抛光夹具，涉及精密加工领域。该夹具包括二维调平台、支撑板、多个弧形延拓挡板以及定位挡块。其中，支撑板设置于二维调平台，用于放置光学元件，多个弧形延拓挡板紧挨支撑板的外侧壁设置，且依次首尾连接形成便于光学元件进行抛光作业的容腔；定位挡块设置于二维调平台，且穿过弧形延拓挡板伸向支撑板，用于定位并抵紧对应位置上的支撑板。通过弧形延拓挡块扩展抛光工具加工区域，使抛光工具可移动出元件遍历元件整个表面，从而抑制边缘加工时抛光力的畸变。且通过二维调平台进行元件表面精密调平，减小装夹对刀误差，提升元件表面材料去除准确性。
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公开(公告)号：CN109955148B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910204249.7
申请日：2019-03-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
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公开(公告)号：CN114290177B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN112916314B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110083443.1
申请日：2021-01-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的丝杆上，通过第二电机带动丝杆旋转使第四导轨沿着第三导轨在Y方向移动，第三导轨设置在第一导轨的丝杆上和第二导轨上，通过第一电机带动丝杆旋转使第三导轨沿着第一导轨和第二导轨在X方向移动。本发明通过多点柔性支撑构建元件‑胶点‑背板三位一体的半刚性系统，将弱刚性的薄板元件的抛光转换为刚性元件的加工，可有效抑制元件加工过程中的装夹变形，在保证加工效率的同时提高面形精度。
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公开(公告)号：CN113183032B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202110534615.2
申请日：2021-05-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种杯型圆弧砂轮高效精密在位修整方法和装置，实现杯型圆弧砂轮高效精密在位修形和修锐，将三轴联动数控机床和单回转轴砂轮修整器有机结合起来用于杯型圆弧砂轮修整，通过机床数控系统控制机床X直线轴和Z直线轴进行圆弧包络插补，可实现杯型砂轮任意包角圆弧的高效高精度在位修整，同时控制Y直线轴匀速进给运动，可保证平面修整砂轮圆周面的平整性，避免杯型圆弧砂轮在平面修整砂轮正上方修整时去除量急剧增大，保证了杯型圆弧砂轮的修整精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113686903A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111094288.X
申请日：2021-09-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法，包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块，每个模块完成相应的功能，具体工作步骤包括：开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误，降低了缺陷定位错误发生率，进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。
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公开(公告)号：CN113211351A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110530025.2
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法，所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台；其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上，其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元；真空吸附基体沿轴线方向设有通孔，通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道；通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接；通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实现装夹，以解决现有深矢高非球面元件与装夹装置无法完全贴合、装夹精度低及存在装夹应力的问题。
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公开(公告)号：CN109746836A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201910143074.3
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光学超精密加工磨削液智能监测报警装置及方法，包括控制器，其内部预设有磨削试验台各工况下许用的磨削液的液位值、温度值、压力值及流量值；数据采集模块，其安装于磨削试验台中与控制器电性连接，并用于采集磨削试验台磨削液上述信号；报警输出模块，控制器电性连接报警输出模块，报警输出模块与磨削试验台的控制系统可转换电性连接或断开连接；控制器根据数据采集模块采集的磨削试验台磨削液的上述信号并与其内部预设许用值比对，低于或高于预设值，控制器均控制报警输出模块报警；加工工件时报警输出模块与磨削试验台的控制系统电性接通，磨削试验台的控制系统控制磨削试验台的主轴抬起远离加工工件表面，保护工件安全。
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公开(公告)号：CN109732439A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910161067.6
申请日：2019-03-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种光学元件子口径抛光夹具，涉及精密加工领域。该夹具包括二维调平台、支撑板、多个弧形延拓挡板以及定位挡块。其中，支撑板设置于二维调平台，用于放置光学元件，多个弧形延拓挡板紧挨支撑板的外侧壁设置，且依次首尾连接形成便于光学元件进行抛光作业的容腔；定位挡块设置于二维调平台，且穿过弧形延拓挡板伸向支撑板，用于定位并抵紧对应位置上的支撑板。通过弧形延拓挡块扩展抛光工具加工区域，使抛光工具可移动出元件遍历元件整个表面，从而抑制边缘加工时抛光力的畸变。且通过二维调平台进行元件表面精密调平，减小装夹对刀误差，提升元件表面材料去除准确性。
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公开(公告)号：CN108673441A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810713421.7
申请日：2018-07-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25H1/10
CPC classification number: B25H1/10
Abstract: 本发明提供一种大口径非球面光学元件平面返修时，使该平面与水平面平行的一维调节装置。大口径非球面光学元件平面返修一维调节装置，包括一维调节组件、平台和元件固定安装组件；一维调节组件与平台的底面配合，包括底座、楔块调整机构和回转机构，楔块调整机构和回转机构分布在底座上相对的两边，楔块调整机构带动回转机构旋转，使平台绕回转机构旋转，与水平面形成一个夹角；元件固定安装组件与平台的上表面连接。本发明通过调整楔块与横梁的相对位置，使回转机构旋转，实现平台的一维调节，使得大口径非球面元件平面返修时平面在与进给方向垂直的方向保持水平，这样加工出来的平面才能满足面形要求，同时本发明结构简单，刚度高，调整精度高。
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