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公开(公告)号：CN115684275A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211424769.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。
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公开(公告)号：CN105526862A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510999283.X
申请日：2015-12-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: G01B11/00 , G01B11/303
Abstract: 本发明公开了一种靶参数测量装置，包括支架、五维调整机构、视觉检测机构和基准确定机构，所述五维调整机构、视觉检测机构和基准确定机构分别固定在支架上，靶固定在五维调整机构上，所述视觉检测机构为3个，分别为上视觉检测机构、中视觉检测机构和下视觉检测机构，所述上视觉检测机构位于靶的上方，所述中视觉检测机构位于靶的侧面，所述下视觉检测机构位于靶的下方，本发明实现物理实验靶参数的高精度离线测量以及采集靶的标准图像特征，为实现物理实验靶，特别是大尺寸靶和形状不规则靶的在线自动引导提供标准数据。
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公开(公告)号：CN110904412A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911291389.9
申请日：2019-12-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种提高太赫兹器件散热及输出功率的方法，包括：在太赫兹器件表面沉积导热薄膜；所述太赫兹器件为太赫兹量子级联激光器。所述导热薄膜为氮化铝薄膜；所述沉积采用的方法为脉冲激光沉积法所述脉冲激光沉积法的过程为：将太赫兹量子级联激光器装入脉冲激光沉积设备中，采用AlN陶瓷靶进行沉积；设置沉积参数：抽真空，激光能量200mJ，频率2Hz，靶基距10cm，所述氮化铝薄膜的厚度为0.8～1.2μm。本发明采用在太赫兹器件表面沉积导热薄膜，更优选为氮化铝薄膜，该氮化铝薄膜覆盖太赫兹量子级联激光器的输出功率得到明显提高，表明通过制备氮化铝薄膜覆盖太赫兹量子级联激光器可以提高器件的散热，从而达到提高器件输出功率的目的。
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公开(公告)号：CN105927858B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610306547.3
申请日：2016-05-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种放置在真空环境的玻璃隔板的防爆破方法。该方法利用真空规管、真空开关、高真空电磁阀、安全爆破片的特点，结合PLC控制系统软硬件，充分考虑到各种潜在的安全隐患，在抽气流程、放气流程、保压工作流程中，在整个真空度5×102Pa~1×105 Pa的范围内实施防爆破。特别是在保压流程中进行了四级实时保护，第一级是声光报警保护，第二级是PLC程序自动控制开阀保护，第三级是真空开关电气硬件控制开阀泄压防护，第四级则完全由机械爆破片泄压实现安全防护。本发明的放置在真空环境的玻璃隔板的防爆破方法具有安全性好、响应快、可靠性高的优点，对处于复杂而特殊的真空环境中的玻璃隔板起到了很好的安全保护作用。
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公开(公告)号：CN106448748A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610793917.0
申请日：2016-08-31
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G21B1/19
Abstract: 本发明公开了一种激光瞄准定位装置，该装置在激光装置激光发射打靶前，先将激光束进行波前校正，然后将激光光点精确定位到实验靶预先设定的弹着点位置，最后发射激光打靶。本发明通过保护仓将激光束靶耦合单元和激光波前校正测试单元集成到一体，由保护仓的防护门作为进出通道，激光束靶耦合单元和激光波前校正测试单元的进出运动通过电气控制系统进行互锁安全控制。本发明的装置具有体积小、结构简单、成本低、装校容易，无需专人定期维护等优点，尤其在激光打靶时能有效自保护，以此实现长期重复使用，特别适用于激光装置真空靶室中，实验靶和靶座体积庞大，打靶时有强电磁干扰、大量高压蒸汽和高速碎片产生的恶劣环境中的激光瞄准定位打靶。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115684274A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211422202.6
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘、加热功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个第一通孔；加热组件，其设置在所述微纳防尘罩上，且所述加热组件与所述钯镍合金薄膜相对应。本发明，通过微纳防尘罩实现对钯镍合金薄膜的防尘封装，并在微纳防尘罩上集成设置加热组件，实现对氢气传感器均匀加热、微米量级防尘的同时大幅缩减封装体积，具有提升防尘效果、保障加热效果、减小封装体积的有益效果。
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公开(公告)号：CN114062447A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN106198450B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610581862.7
申请日：2016-07-22
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种测量材料非线性吸收曲线的装置，所述的装置采用晶体倍频系统和色散棱镜获得所需的单波长激光，然后通过长焦透镜提高入射激光强度，采用科学级CCD相机记录入射激光的能量和光斑尺寸，通过能量计测得出射激光能量，获得了待测样品的非线性吸收曲线。本发明的测量材料非线性吸收曲线的装置提高了非线性吸收曲线的测量范围，简化了非线性吸收曲线测量系统，实现了多波长、宽范围、高精度非线性吸收曲线测量。
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公开(公告)号：CN106533061A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201611149582.5
申请日：2016-12-13
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: H02K9/22
CPC classification number: H02K9/22
Abstract: 本发明公开了一种真空电机导热器，包括导热器座、编织线和散热蹄脚，所述导热器座安装在电机本体上，所述编织线的一端通过第一固定件与导热器座连接，另一端通过第二固定件与散热蹄脚连接，本发明的电机导热器满足了真空环境下电机运行过程中产生热量的传导和释放，具有较高的工程应用价值。
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公开(公告)号：CN106533061B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201611149582.5
申请日：2016-12-13
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: H02K9/22
Abstract: 本发明公开了一种真空电机导热器，包括导热器座、编织线和散热蹄脚，所述导热器座安装在电机本体上，所述编织线的一端通过第一固定件与导热器座连接，另一端通过第二固定件与散热蹄脚连接，本发明的电机导热器满足了真空环境下电机运行过程中产生热量的传导和释放，具有较高的工程应用价值。
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