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公开(公告)号：CN114910828B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210527311.8
申请日：2022-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。
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公开(公告)号：CN115684274A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211422202.6
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘、加热功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个第一通孔；加热组件，其设置在所述微纳防尘罩上，且所述加热组件与所述钯镍合金薄膜相对应。本发明，通过微纳防尘罩实现对钯镍合金薄膜的防尘封装，并在微纳防尘罩上集成设置加热组件，实现对氢气传感器均匀加热、微米量级防尘的同时大幅缩减封装体积，具有提升防尘效果、保障加热效果、减小封装体积的有益效果。
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公开(公告)号：CN114062447A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN113739949A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202111039736.6
申请日：2021-09-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01K7/16
Abstract: 本发明公开了一种基于多层量子阱结构的深低温温度传感器及其制备方法，包括：由下至上依次设置的传热层，衬底层，带有下电极的缓冲层，由多个量子阱周期组成的温敏层，带有上电极的接触层；每个所述量子阱周期由多层不同厚度的Al0.15Ga0.85As和GaAs交替组成。本发明提供一种基于GaAs材料体系的多层量子阱结构，在深低温环境下对电子在多层量子阱结构中的输运过程进行精确控制，从而显著提高本装置在各个低温区间的相对灵敏度；同时能够依据不同低温温度区间的高精度温度测量需要，对量子阱的多层结构进行灵活的生长裁剪，实现对不同低温区间的高精度温度测量。
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公开(公告)号：CN113932843A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111445202.3
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，包括：测试腔，其内设置有放置待测传感器样品的平台；设置在与测试腔上方的盖体，其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口；设置在平台下方的第一加热机构；设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组；与传感器组通信连接的控制器；与测试腔相配合的真空泵；与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，提供多个环境场景的在线检测需要，保证检测信号的稳定性和可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106298577B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201610906199.3
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 沈昌乐 , 蒋涛 , 王雪敏 , 吴卫东 , 黎维华 , 李佳 , 杨奇 , 湛治强 , 彭丽萍 , 王新明 , 樊龙 , 邓青华 , 赵妍 , 张颖娟 , 阎大伟 , 肖婷婷 , 孙亮
Abstract: 一种单晶薄膜沉积速率在线测定的方法及应用，属于薄膜材料领域。该方法在缓冲层生长完成后，用主挡板隔绝III族元素束源炉和衬底，既给了缓冲层充分的稳定时间，又保持III族元素束源炉始终处于开启状态，维持其内外温度的稳定，从而有效避免了过冲效应带来的测定误差，以获得更高的测定精度。本发明还提供一种上述方法在单晶薄膜沉积工艺中的应用，其采用上述的单晶薄膜沉积速率在线测定的方法对薄膜生长速率进行精确测定，并以此为依据调整薄膜生长相关的仪器参数，让薄膜在最适生长速度下生长，从而优化薄膜产品质量。
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公开(公告)号：CN113739949B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202111039736.6
申请日：2021-09-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01K7/16
Abstract: 本发明公开了一种基于多层量子阱结构的深低温温度传感器及其制备方法，包括：由下至上依次设置的传热层，衬底层，带有下电极的缓冲层，由多个量子阱周期组成的温敏层，带有上电极的接触层；每个所述量子阱周期由多层不同厚度的Al0.15Ga0.85As和GaAs交替组成。本发明提供一种基于GaAs材料体系的多层量子阱结构，在深低温环境下对电子在多层量子阱结构中的输运过程进行精确控制，从而显著提高本装置在各个低温区间的相对灵敏度；同时能够依据不同低温温度区间的高精度温度测量需要，对量子阱的多层结构进行灵活的生长裁剪，实现对不同低温区间的高精度温度测量。
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公开(公告)号：CN115684275A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211424769.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。
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公开(公告)号：CN106298577A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610906199.3
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 沈昌乐 , 蒋涛 , 王雪敏 , 吴卫东 , 黎维华 , 李佳 , 杨奇 , 湛治强 , 彭丽萍 , 王新明 , 樊龙 , 邓青华 , 赵妍 , 张颖娟 , 阎大伟 , 肖婷婷 , 孙亮
Abstract: 一种单晶薄膜沉积速率在线测定的方法及应用，属于薄膜材料领域。该方法在缓冲层生长完成后，用主挡板隔绝III族元素束源炉和衬底，既给了缓冲层充分的稳定时间，又保持III族元素束源炉始终处于开启状态，维持其内外温度的稳定，从而有效避免了过冲效应带来的测定误差，以获得更高的测定精度。本发明还提供一种上述方法在单晶薄膜沉积工艺中的应用，其采用上述的单晶薄膜沉积速率在线测定的方法对薄膜生长速率进行精确测定，并以此为依据调整薄膜生长相关的仪器参数，让薄膜在最适生长速度下生长，从而优化薄膜产品质量。
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公开(公告)号：CN119736719A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411938352.1
申请日：2024-12-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种提升蓝宝石光学元件高压冲击损伤阈值的后处理方法，包括：首先通过高温化学腐蚀反应暴露并钝化亚表面缺陷，再通过高温下磷酸反应去除不溶解的反应沉积物，随后通过多频超声波交替复用辅助NaOH溶液去除多余的酸性物质，最后通过多频超声波交替复用辅助高纯水和表面活性剂进行漂洗。本发明可以对蓝宝石光学元件进行全局处理，通过高温下特定比例的硫酸和磷酸混合溶液腐蚀处理，再通过磷酸溶解去除沉积层，暴露亚表面层中的划痕和凹坑、且有效钝化划痕中的尖锐形貌，从而有效提高蓝宝石高压冲击损伤阈值。
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