公开(公告)号：CN106015034A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610539206.0

申请日：2016-07-11

Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

Inventor： 陶继忠 ,  王文升 ,  何朝晖 ,  蔡飞飞 ,  刘广民 ,  马绍兴 ,  刘有海 ,  雷艳华 ,  张明君 ,  吴定柱

IPC: F04D19/04 ,  F04D25/06 ,  F04D29/00

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04D19/048 ,  F04D25/06 ,  F04D29/002

Abstract: 本发明提供了一种高压比复合分子泵，该复合分子泵的压比量级为1010~1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本发明的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

公开(公告)号：CN205779783U

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201620721864.7

申请日：2016-07-11

Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

Inventor： 陶继忠 ,  王文升 ,  何朝晖 ,  蔡飞飞 ,  刘广民 ,  马绍兴 ,  刘有海 ,  雷艳华 ,  张明君 ,  吴定柱

IPC: F04D19/04 ,  F04D25/06 ,  F04D29/00

Abstract: 本实用新型提供了一种高压比复合分子泵，所述复合分子泵的压比量级为1010~1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本实用新型的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。