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公开(公告)号：CN118655504B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411150959.3
申请日：2024-08-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032 , G01R33/00 , H01P7/06 , H01P11/00
Abstract: 本发明属于固态量子传感技术领域，特别公开了一种自旋态的微波谐振腔及其制作工艺，采用的技术方案为：在主腔体内部设置第一填充介质和第二填充介质，含NV色心的金刚石、透镜、滤光片位于第一填充介质中部，含NV色心的金刚石位于滤光片上方；从腔体上方激光入射孔引入532 nm波长激光激发含NV色心的金刚石；在腔体下方预留荧光收集孔放入光电探测器收集荧光信号；在腔体侧壁预留同轴线耦合环结构插孔，同轴线耦合环结构内导体弯成环一端接于腔体内壁，另一端连接微波源，本发明以微波谐振腔为核心集成设计各功能部件，使微波磁场高效集中在腔体中轴线上，为含NV色心的金刚石提供均匀的微波磁场环境，最大化提高含NV色心的金刚石磁强计灵敏度。
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公开(公告)号：CN110680262B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201910996635.4
申请日：2019-10-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及肠道诊查机器人，具体是一种用于肠道诊查的轮架轮组式径向扩张机构。本发明解决了现有肠道诊查机器人的扩张机构故障率高、工作效率低的问题。一种用于肠道诊查的轮架轮组式径向扩张机构，包括机壳部分、减速子机构、执行子机构；所述机壳部分包括圆杯形壳体、圆形挡板；所述减速子机构包括直流电机、主动齿轮、传动圆环；所述执行子机构包括第I支撑圆环、第II支撑圆环、第III支撑圆环、第IV支撑圆环、轮架、轮轴、从动齿轮、径向连杆、枢轴、径向推杆、弧槽形推片。本发明适用于肠道诊查机器人。
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公开(公告)号：CN108692740B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810265172.X
申请日：2018-03-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法，具体是一种基于高深宽比深硅刻蚀法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。基于高深宽比深硅刻蚀法的硅微杯形谐振陀螺加工方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：加工圆形通孔和第I圆环形通孔；步骤b：溅射欧姆接触层；步骤c：生长二氧化硅层；步骤d：光刻形成圆形窗口和第I圆环形窗口；步骤e：旋涂光刻胶层；步骤f：光刻形成第II圆环形窗口；步骤g：刻蚀形成第II圆环形凹腔；步骤h：将光刻胶层去除；步骤i：将第II圆环形凹腔刻蚀成为第II圆环形通孔；步骤j：将二氧化硅层去除。本发明适用于硅微杯形谐振陀螺的加工。
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公开(公告)号：CN110680262A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910996635.4
申请日：2019-10-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及肠道诊查机器人，具体是一种用于肠道诊查的轮架轮组式径向扩张机构。本发明解决了现有肠道诊查机器人的扩张机构故障率高、工作效率低的问题。一种用于肠道诊查的轮架轮组式径向扩张机构，包括机壳部分、减速子机构、执行子机构；所述机壳部分包括圆杯形壳体、圆形挡板；所述减速子机构包括直流电机、主动齿轮、传动圆环；所述执行子机构包括第I支撑圆环、第II支撑圆环、第III支撑圆环、第IV支撑圆环、轮架、轮轴、从动齿轮、径向连杆、枢轴、径向推杆、弧槽形推片。本发明适用于肠道诊查机器人。
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公开(公告)号：CN110638429A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910996646.2
申请日：2019-10-19
Applicant: 中北大学
IPC: A61B5/00 , A61B5/07 , F16H1/32 , F16H57/023 , H02K7/116
Abstract: 本发明涉及肠道诊查机器人，具体是一种用于肠道诊查的链轮链条式径向扩张机构。本发明解决了现有肠道诊查机器人的扩张机构故障率高、工作效率低的问题。一种用于肠道诊查的链轮链条式径向扩张机构，包括机壳部分、减速子机构、执行子机构；所述机壳部分包括第I圆杯形壳体、第II圆杯形壳体；所述减速子机构包括直流电机、第I太阳齿轮、第I行星齿轮、内齿圈、十字行星架、第I轮轴、十字支撑架、中心轴、轴承；所述执行子机构包括第II太阳齿轮、第II行星齿轮、第III行星齿轮、第II轮轴、链轮、第III轮轴、链条、枢轴、径向推杆、弧槽形推片。本发明适用于肠道诊查机器人。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108692740A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810265172.X
申请日：2018-03-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法，具体是一种基于高深宽比深硅刻蚀法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。基于高深宽比深硅刻蚀法的硅微杯形谐振陀螺加工方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：加工圆形通孔和第I圆环形通孔；步骤b：溅射欧姆接触层；步骤c：生长二氧化硅层；步骤d：光刻形成圆形窗口和第I圆环形窗口；步骤e：旋涂光刻胶层；步骤f：光刻形成第II圆环形窗口；步骤g：刻蚀形成第II圆环形凹腔；步骤h：将光刻胶层去除；步骤i：将第II圆环形凹腔刻蚀成为第II圆环形通孔；步骤j：将二氧化硅层去除。本发明适用于硅微杯形谐振陀螺的加工。
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公开(公告)号：CN108732518B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201810701001.7
申请日：2018-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032
Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
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公开(公告)号：CN109163717B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201811303962.9
申请日：2018-11-03
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种基于轮‑环形式的单片三轴MEMS陀螺仪。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种基于轮‑环形式的单片三轴MEMS陀螺仪，包括玻璃基底、驱动结构、x轴敏感结构、y轴敏感结构、z轴敏感结构；所述驱动结构包括圆柱形中心锚体、圆环形驱动质量块、四根直形弹性支撑悬梁、八个可动驱动梳齿、八对固定驱动梳齿；所述x轴敏感结构包括第I圆环形敏感质量块、两根第I三角形弹性支撑悬梁、两个第I弧形电极；所述y轴敏感结构包括第II圆环形敏感质量块、两根第II三角形弹性支撑悬梁、两个第II弧形电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。
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公开(公告)号：CN106643686B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201610974326.3
申请日：2016-11-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
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公开(公告)号：CN106597011B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201611205923.6
申请日：2016-12-23
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/02
Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
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