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公开(公告)号：CN108732518B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201810701001.7
申请日：2018-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032
Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
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公开(公告)号：CN108983121B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201810574190.6
申请日：2018-06-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及其制作工艺，本发明将制备有NV色心系综的块状金刚石片进行磨边整形得到梯台状金刚石，随后通过薄膜生长工艺在金刚石上表面制备出多层介质组合的反射膜，并且在底部制备多层介质组合的截止滤波膜，两种光学功能膜包裹金刚石介质形成一个陷光结构，最后，在这个金刚石为主体的陷光结构上制备出环形微波天线，开凿通光孔，微组装激光二极管和光电二极管，实现集成的NV磁强计，本发明开创性的以金刚石为核心集成设计总体陷光腔结构和系统调制光子收集各功能部件，能够最大化提高固态原子磁强计灵敏度和减小器件体积。
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公开(公告)号：CN108983121A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810574190.6
申请日：2018-06-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及其制作工艺，本发明将制备有NV色心系综的块状金刚石片进行磨边整形得到梯台状金刚石，随后通过薄膜生长工艺在金刚石上表面制备出多层介质组合的反射膜，并且在底部制备多层介质组合的截止滤波膜，两种光学功能膜包裹金刚石介质形成一个陷光结构，最后，在这个金刚石为主体的陷光结构上制备出环形微波天线，开凿通光孔，微组装激光二极管和光电二极管，实现集成的NV磁强计，本发明开创性的以金刚石为核心集成设计总体陷光腔结构和系统调制光子收集各功能部件，能够最大化提高固态原子磁强计灵敏度和减小器件体积。
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公开(公告)号：CN108732518A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810701001.7
申请日：2018-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032
Abstract: 本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
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