公开(公告)号：CN106643686A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610974326.3

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  康强 ,  任建军

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106643685A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610973782.6

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  冯恒振 ,  连树仁 ,  任建军 ,  康强

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；所述电极部分包括外弧形电极、内弧形电极；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、方波状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106643686B

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201610974326.3

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  康强 ,  任建军

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106597011B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106597011A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。