公开(公告)号：CN106643686B

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201610974326.3

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  康强 ,  任建军

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106597011B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106597011A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN108328568B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201810135219.0

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  孙亚楠 ,  唐军 ,  李杰 ,  赵锐 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  寇志伟 ,  任建军 ,  赵永祺 ,  赵思晗

IPC: B81C1/00 ,  G01P15/12

Abstract: 本发明涉及压阻式加速度传感器，具体是一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法。本发明解决了现有压阻式加速度传感器在高温环境下使用时稳定性和可靠性差的问题。一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：准备正方形SiC基底；步骤b：对正方形SiC基底进行减薄；步骤c：在正方形SiC基底的背面刻蚀形成口字形凹腔和正方形质量块；步骤d：将正方形n型外延层刻蚀成为四个长方形压敏电阻条；步骤e：沉积氧化层；步骤f：溅射正方形金属层；步骤g：在氧化层的正面和口字形凹腔的底面之间刻蚀形成四个正方形通孔。本发明适用于军事国防、航空航天等领域。

公开(公告)号：CN108328568A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810135219.0

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  孙亚楠 ,  唐军 ,  李杰 ,  赵锐 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  寇志伟 ,  任建军 ,  赵永祺 ,  赵思晗

IPC: B81C1/00 ,  G01P15/12

CPC classification number: B81C1/00349 ,  G01P15/12

Abstract: 本发明涉及压阻式加速度传感器，具体是一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法。本发明解决了现有压阻式加速度传感器在高温环境下使用时稳定性和可靠性差的问题。一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：准备正方形SiC基底；步骤b：对正方形SiC基底进行减薄；步骤c：在正方形SiC基底的背面刻蚀形成口字形凹腔和正方形质量块；步骤d：将正方形n型外延层刻蚀成为四个长方形压敏电阻条；步骤e：沉积氧化层；步骤f：溅射正方形金属层；步骤g：在氧化层的正面和口字形凹腔的底面之间刻蚀形成四个正方形通孔。本发明适用于军事国防、航空航天等领域。

公开(公告)号：CN106643686A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610974326.3

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  连树仁 ,  冯恒振 ,  康强 ,  任建军

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN106643685A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610973782.6

申请日：2016-11-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  寇志伟 ,  曹慧亮 ,  石云波 ,  黄堃 ,  唐军 ,  冯恒振 ,  连树仁 ,  任建军 ,  康强

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5684

Abstract: 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；所述电极部分包括外弧形电极、内弧形电极；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、方波状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。