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公开(公告)号：CN104011594B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201280061667.1
申请日：2012-12-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，更为详细地讲，涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物，其常温稳定性优良、变色少且透射率优良，从而即便省略HMDS工序，也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失，或者在执行后工序时产生图案变形的危险。
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公开(公告)号：CN1904734A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610072635.8
申请日：2006-04-05
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/027 , G03F7/004 , G02F1/133 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不仅灵敏度、耐热性、解像度等性能优异，还显著提高了常温保存稳定性和透过性，适于形成LCD制造工序中的层间绝缘膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)丙烯酸类共聚物、b)1，2－二叠氮醌化合物、c)以化学式1～6中的任意一个来表示的环氧类化合物、和d)溶剂，其中所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)～iii)共聚后，除去未反应的单体而得到的：i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；ii)含有羟基的烯烃类不饱和化合物；iii)烯烃类不饱和化合物。
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公开(公告)号：CN1811596A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610002253.8
申请日：2006-01-27
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/008
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不仅灵敏度、透过率、绝缘性、耐化学性、平滑性、涂布性等性能优异，而且特别地，其与无机质材料的粘着性也显著升高，适于形成LCD制造工序的层间绝缘膜。本发明的感光性树脂组合物含有a)丙烯酸类共聚物、b)1，2－二叠氮醌化合物、和c)溶剂，所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)～iv)进行共聚来得到的：i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；ii)含环氧基的不饱和化合物；iii)烯烃类不饱和化合物；和iv)硅烷类单体。
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公开(公告)号：CN1693322A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510071269.X
申请日：2005-05-08
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C08F220/04 , C08F212/08 , H01B3/44 , G02F1/136
Abstract: 本发明涉及TFT－LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂的制造方法，特别是涉及包括对在溶剂下聚合i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物、ii)苯乙烯类单体、iii)环氧类单体、iv)异冰片基类单体和v)二聚环戊二烯类单体而制造的共聚物溶液进行精制的步骤的TFT－LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂的制造方法、用上述方法制造的TFT－LCD用层间有机绝缘膜用丙烯酸类共聚物树脂及适用了上述丙烯酸类共聚物树脂的TFT－LCD用层间有机绝缘膜。如果将通过本发明制造的丙烯酸类共聚物树脂应用于TFT－LCD用正电型层间有机绝缘膜，可以提高膜的显像性和耐热性，还具有可提高透过率的效果。
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公开(公告)号：CN105143978B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201480023707.2
申请日：2014-04-14
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光树脂组合物。本实施例的感光树脂组合物包含：使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物和ii)烯烃类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙烯酸类共聚物；由酸解性乙缩醛或缩酮基保护酚羟基的阻溶剂；光致酸生成剂；和溶剂。
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公开(公告)号：CN106249546A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610388093.9
申请日：2016-06-02
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种负型感光性树脂组合物，优选地，涉及在制造滤色片阵列(array)结构的液晶显示装置时为了在形成有滤色片图案的基板上形成有机绝缘膜而使用的、平坦度优异并且灵敏度、分辨率、粘接性优异的负型感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN101311215A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810099945.8
申请日：2008-05-22
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C08L33/06 , C08K5/09 , C08K5/3445 , G02B1/10
Abstract: 本发明提供有机保护膜组合物，其在120℃以下的低温固化工序中也具有优异的粘结力、绝缘性、平坦性等性能，适合于液晶显示元件的成像用材料，特别是在后续工序中可使显示元件的耐热性和对溶剂、酸或碱等的耐化学性提高。所述组合物的特征在于，其含有下述成分：a)100重量份丙烯酸系共聚物，所述共聚物是将5～95重量％i)下述化学式1表示的化合物与5～95重量％ii)可与该化学式1的化合物共聚的烯烃系不饱和化合物进行共聚而制造出的；b)0.001～5重量份i)热引发剂或0.001～30重量份ii)光引发剂；c)1～80重量份酸酐化合物；d)0.0001～1重量份咪唑系叔胺化合物；和e)有机溶剂，其使得上述a)～d)成分为有机保护膜组合物的10～50重量％，所述化学式1中，X为氢或甲基。
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公开(公告)号：CN1955843A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610137563.0
申请日：2006-10-25
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物不仅显像后的均匀度、灵敏度、分辨率、耐热性、透明性等性能优异，特别是由于可实现低介电常数的有机绝缘膜，因而能够降低耗电、减少串扰，适合用于多种显示器工序中的有机绝缘膜。所述感光性树脂组合物含有：a)丙烯酸类共聚物；b)1，2－二叠氮醌化合物；以及c)溶剂，所述a)丙烯酸类共聚物是通过将下述化合物i)～iv)共聚得到的，i)下述化学式1或化学式2所示的含有POSS的不饱和化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或它们的混合物；iii)含有环氧基的不饱和化合物；以及iv)烯烃类不饱和化合物。
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公开(公告)号：CN101571672A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200910136972.2
申请日：2009-04-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/038 , H01L21/84 , G02F1/1368
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物，该组合物的分辨率、绝缘性、平坦性、耐化学性和粘接力均优异，特别是与现有的感光性树脂相比，在形成高开口率液晶显示元件和反射型液晶显示元件的有机绝缘膜时感光度、残膜率和UV透过率显著优异，因此该组合物适合以有机绝缘膜的方式来使用。特别是，本发明涉及含有如下成分的负型感光性树脂组合物：a)使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ii)含有环氧基的不饱和化合物和iii)烯烃系不饱和化合物共聚得到的丙烯酸系共聚物；b)含有[1－[9－乙基－6－(2－甲基苯甲酰基)－9H－咔唑－3－基]－1－(O－乙酰基肟)的光引发剂；c)具有烯键式不饱和键的多官能性单体；d)具有环氧基或胺基的硅系化合物；和e)溶剂。
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