公开(公告)号：CN104011594A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201280061667.1

申请日：2012-12-11

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  李相勋 ,  金珍善 ,  尹柱豹 ,  金东明 ,  金镇祐 ,  朴璟镇 ,  李善熙 ,  黄致容

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，更为详细地讲，涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物，其常温稳定性优良、变色少且透射率优良，从而即便省略HMDS工序，也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失，或者在执行后工序时产生图案变形的危险。

公开(公告)号：CN103917916B

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201280051559.6

申请日：2012-10-15

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金东明 ,  金柄郁 ,  尹赫敏 ,  金镇祐 ,  黄致容

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明涉及OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，特别是涉及一种具有以下特征的OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，其特征在于，包括：a)包括i)聚酰亚胺前驱体、ii)聚羟基苯乙烯(poly hydroxy styrene)的树脂；b)1,2‑醌二叠氮化合物；c)交联剂；及d)溶剂。本发明的聚酰亚胺感光性树脂组合物使用分子量及溶解度容易调节的聚酰亚胺前驱体，适合于OLED的有机绝缘膜形成，特别是能够使灵敏度显著改善。

公开(公告)号：CN103975275A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201280060276.8

申请日：2012-11-29

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金炳郁 ,  尹赫敏 ,  金东明 ,  金镇祐 ,  黄致容

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/0013 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明涉及一种激光热转印用聚酰亚胺光敏性组合物，更详细地讲，涉及在形成OLED的绝缘膜中，在适用于激光热转印法(laser induced thermal imaging，LITI)时，可形成双锥形，且脱模性(anti-stiction)优良的聚酰亚胺光敏性组合物。

公开(公告)号：CN103975275B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201280060276.8

申请日：2012-11-29

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金炳郁 ,  尹赫敏 ,  金东明 ,  金镇祐 ,  黄致容

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/0013 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明涉及一种激光热转印用聚酰亚胺光敏性组合物，更详细地讲，涉及在形成OLED的绝缘膜中，在适用于激光热转印法(laser induced thermal imaging，LITI)时，可形成双锥形，且脱模性(anti‑stiction)优良的聚酰亚胺光敏性组合物。

公开(公告)号：CN104011594B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201280061667.1

申请日：2012-12-11

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  李相勋 ,  金珍善 ,  尹柱豹 ,  金东明 ,  金镇祐 ,  朴璟镇 ,  李善熙 ,  黄致容

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，更为详细地讲，涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物，其常温稳定性优良、变色少且透射率优良，从而即便省略HMDS工序，也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失，或者在执行后工序时产生图案变形的危险。

公开(公告)号：CN103917916A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201280051559.6

申请日：2012-10-15

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金东明 ,  金柄郁 ,  尹赫敏 ,  金镇祐 ,  黄致容

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0236

Abstract: 本发明涉及OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，特别是涉及一种具有以下特征的OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，其特征在于，包括：a)包括i)聚酰亚胺前驱体、ii)聚羟基苯乙烯(poly？hydroxy？styrene)的树脂；b)1,2-醌二叠氮化合物；c)交联剂；及d)溶剂。本发明的聚酰亚胺感光性树脂组合物使用分子量及溶解度容易调节的聚酰亚胺前驱体，适合于OLED的有机绝缘膜形成，特别是能够使灵敏度显著改善。