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公开(公告)号:CN105143978B
公开(公告)日:2019-12-13
申请号:CN201480023707.2
申请日:2014-04-14
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光树脂组合物。本实施例的感光树脂组合物包含:使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物和ii)烯烃类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙烯酸类共聚物;由酸解性乙缩醛或缩酮基保护酚羟基的阻溶剂;光致酸生成剂;和溶剂。
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公开(公告)号:CN1892426B
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN200610098739.6
申请日:2006-07-10
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0045
Abstract: 提供光刻胶组合物、使用该光刻胶组合物形成薄膜图案的方法、以及使用该光刻胶组合物制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在一个方式中,光刻胶组合物包括碱溶性树脂、光敏化合物以及添加剂,用于在通道区域有利地提供均匀的光刻胶。
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公开(公告)号:CN105143978A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201480023707.2
申请日:2014-04-14
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光树脂组合物。本实施例的感光树脂组合物包含:使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物和ii)烯烃类不饱和化合物或其混合物共聚形成的丙烯酸类共聚物;由酸解性乙缩醛或缩酮基保护酚羟基的阻溶剂;光致酸生成剂;和溶剂。
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公开(公告)号:CN1892426A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610098739.6
申请日:2006-07-10
CPC classification number: G03F7/022 , G03F7/0045
Abstract: 提供光刻胶组合物、使用该光刻胶组合物形成薄膜图案的方法、以及使用该光刻胶组合物制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在一个方式中,光刻胶组合物包括碱溶性树脂、光敏化合物以及添加剂,用于在通道区域有利地提供均匀的光刻胶。
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