公开(公告)号：CN104698222A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510083131.5

申请日：2015-02-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 夏敦柱 ,  高海珏 ,  孔伦

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。

公开(公告)号：CN104698222B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201510083131.5

申请日：2015-02-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 夏敦柱 ,  高海珏 ,  孔伦

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。

公开(公告)号：CN104613952B

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201510076084.1

申请日：2015-02-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 夏敦柱 ,  高海珏 ,  孔伦

IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成全解耦角振动环式硅陀螺仪，包括玻璃基底和安装于玻璃基底表面的陀螺结构，玻璃基底上设有信号引线与陀螺结构的电极相连接；陀螺结构包括安装于玻璃基底中心位置的中心锚点、圆环框架、检测框组件和驱动梳齿组件，中心锚点也位于圆环框架的中心位置；圆环框架从内向外依次包括有同心设置的内环、中环和外环，内环安装于中心锚点的外周且内环与中心锚点之间通过若干第一支撑梁固定连接，内环与中环之间连接有若干驱动梳齿组件，中环与外环通过第二支撑梁连接固定，且外环与中环之间设有检测框组件。本发明具有体积小、重量轻、成本低，功耗小以及可靠性高等优点。

公开(公告)号：CN104613952A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201510076084.1

申请日：2015-02-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 夏敦柱 ,  高海珏 ,  孔伦

IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成全解耦角振动环式硅陀螺仪，包括玻璃基底和安装于玻璃基底表面的陀螺结构，玻璃基底上设有信号引线与陀螺结构的电极相连接；陀螺结构包括安装于玻璃基底中心位置的中心锚点、圆环框架、检测框组件和驱动梳齿组件，中心锚点也位于圆环框架的中心位置；圆环框架从内向外依次包括有同心设置的内环、中环和外环，内环安装于中心锚点的外周且内环与中心锚点之间通过若干第一支撑梁固定连接，内环与中环之间连接有若干驱动梳齿组件，中环与外环通过第二支撑梁连接固定，且外环与中环之间设有检测框组件。本发明具有体积小、重量轻、成本低，功耗小以及可靠性高等优点。