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公开(公告)号：CN104051674A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。
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公开(公告)号：CN104043573A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410096586.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: B05D3/04
Abstract: 本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
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公开(公告)号：CN111834553A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010263606.X
申请日：2020-04-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种使涂敷于基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括暂时收集从所述基板气化了的所述溶液中的溶剂的溶剂收集部，所述溶剂收集部以与所述基板相对的方式配置，且被划分为多个区域，在所述多个区域各自形成有开口，所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的每单位面积的热容根据与该区域相对的基板中的部分而不同。由此，能够使基板上的溶液的干燥时间在基板的面内更加均匀。
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公开(公告)号：CN104043573B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201410096586.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05D3/04
Abstract: 本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
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公开(公告)号：CN107618265B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201710573623.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107464877B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201710417403.X
申请日：2017-06-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置，其能够基于利用功能液滴的拍摄结果的功能液的排出状态的检查结果适当校正功能液的排出条件。检查装置(1)检查来自喷嘴的功能液的排出状态。检查装置(1)包括拍摄由从喷嘴排出的功能液在检查片(20)上形成的多个液滴(21)的拍摄部(10)；基于拍摄部(10)的拍摄结果，测量液滴(21)的形成状态的测量部(11a)；和利用拍摄部(10)的拍摄结果，将多个液滴(21)中作为测量部(11a)的测量对象的液滴基于该液滴的形成状态进行选择的选择部(11b)。
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公开(公告)号：CN109671647A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811202183.X
申请日：2018-10-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。
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公开(公告)号：CN107425128B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710367124.7
申请日：2017-05-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
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公开(公告)号：CN104051674B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置(100)包括能够抽成真空的处理容器(1)、用于在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、与支承在载置台(3)上的基板(S)相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部(5)、以及控制部(6)。溶剂收集部(5)还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置(7)。溶剂收集部(5)包括与载置在载置台(3)上的基板(S)相对且与该基板(S)的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板(50)。在收集板(50)中形成有多个贯通开口(50a)。
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公开(公告)号：CN107618265A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710573623.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
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