公开(公告)号：CN107650520A

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201710611980.2

申请日：2017-07-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林辉幸 ,  大岛澄美 ,  岛村明典 ,  中込裕

IPC: B41J25/24

Abstract: 本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。

公开(公告)号：CN115593113A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210740296.5

申请日：2022-06-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社(JP)

Inventor： 松雪聪 ,  大岛澄美 ,  林辉幸 ,  中込裕

IPC: B41J2/165

Abstract: 本发明提供使维护步骤中的液滴释放头的清洁性能提高的液滴释放装置和液滴释放方法。液滴释放装置向工件释放功能液的液滴来进行描绘，并包括：向上述工件释放液滴的液滴释放头；处理液供给部，其向上述液滴释放头供给作为上述功能液的溶剂的第一清洗液或醇类的第二清洗液；和对上述处理液供给部进行控制的控制部，上述控制部构成为能够执行如下控制：在将填充于上述液滴释放头的上述功能液替换为上述第一清洗液和上述第二清洗液中的任一种清洗液之后，替换为另一种清洗液。

公开(公告)号：CN109671647A

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201811202183.X

申请日：2018-10-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大岛澄美 ,  林辉幸 ,  中込裕 ,  松本诚 ,  户原淳志 ,  今田雄

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。

公开(公告)号：CN107650520B

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201710611980.2

申请日：2017-07-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林辉幸 ,  大岛澄美 ,  岛村明典 ,  中込裕

IPC: B41J25/24

Abstract: 本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。