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公开(公告)号：CN104051674A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。
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公开(公告)号：CN104051674B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置(100)包括能够抽成真空的处理容器(1)、用于在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、与支承在载置台(3)上的基板(S)相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部(5)、以及控制部(6)。溶剂收集部(5)还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置(7)。溶剂收集部(5)包括与载置在载置台(3)上的基板(S)相对且与该基板(S)的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板(50)。在收集板(50)中形成有多个贯通开口(50a)。
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公开(公告)号：CN104043573B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201410096586.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05D3/04
Abstract: 本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
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公开(公告)号：CN104043573A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410096586.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: B05D3/04
Abstract: 本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
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