公开(公告)号：CN113808969A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202110625856.8

申请日：2021-06-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 申圣敏 ,  林辉幸 ,  大岛澄美 ,  松本诚

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明要解决的技术问题是，防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上，而导致功能液的抽吸性能、排出性能受损。本发明提供液体排出装置和液体排出方法。本发明的液体排出装置用于将来自释放头的功能液排出，在所述释放头形成有用于向工件释放功能液的液滴的释放孔，所述液体排出装置的特征在于，具有：排液管，其用于对所述释放头内的功能液进行抽吸或者与接收从所述释放头释放的功能液的液体接收部连接；和供给管，其用于向所述排液管供给使所述排液管内的功能液流出的清洗用流体。

公开(公告)号：CN109671647A

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201811202183.X

申请日：2018-10-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 大岛澄美 ,  林辉幸 ,  中込裕 ,  松本诚 ,  户原淳志 ,  今田雄

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。