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公开(公告)号：CN112461121B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010875893.X
申请日：2020-08-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种进行处理装置的检查的系统和检查方法，能够判定处理装置的异常。进行处理装置的检查的系统具备：温度调整机构，其调整处理装置的处理室内的部件温度；光源，其产生测定光；多个光学元件，在温度调整机构对部件进行温度调整的期间，所述多个光学元件将通过光源产生的测定光作为出射光射出至处理装置的处理室内的部件，并且反射光射入所述多个光学元件；以及控制部，其基于反射光，针对与光学元件对应的每个测定部位测定部件温度，基于测定部位的部件温度的各温度的比较来判定处理装置的异常。
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公开(公告)号：CN109841555A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201811407892.1
申请日：2018-11-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供求出偏离量的方法和校准搬送位置数据的方法，能够以高精度求出测定器的偏离量。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极以从多个传感器电极到聚焦环的内周面的最短距离的和(A)为固定的值的方式配置。方法包括以下步骤：利用配置在区域内的测定器来计算多个测定值(Ci)；使用计算出的多个测定值(Ci)来计算常量(a)；使用计算出的常量(a)和多个测定值(Ci)来计算多个距离，所述多个距离分别表示从多个传感器电极到聚焦环的内周面的距离；以及根据计算出的多个距离来计算偏离量。
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公开(公告)号：CN112885694A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202011307178.2
申请日：2020-11-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 提供一种夹具，其用于提高发光强度的分析精确度。该夹具包括：基座；多个光源，设置在所述基座上，并且发射不同波长的光；控制部，设置在所述基座上，并且基于给定的程序点亮或熄灭所述多个光源；以及电力供给部，设置在所述基座上，并且向所述多个光源和所述控制部供给电力，其中，所述夹具为能够由设置在搬送室中的用于对被处理基板进行搬送的搬送装置来搬送的形状。
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公开(公告)号：CN111326394A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201911263165.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/677
Abstract: 示例性实施方式所涉及的搬送方法包括：通过搬送装置将聚焦环搬送至工作台上的步骤；将测量仪搬送至已搬送的聚焦环的内侧区域的静电卡盘上的步骤；通过所搬送的测量仪获取测量值组的步骤；根据测量值组求出第1偏移量及第2偏移量的步骤；根据第1偏移量及第2偏移量求出聚焦环的中心位置相对于静电卡盘的中心位置的偏移量即第3偏移量的步骤；及通过搬送装置根据第3偏移量调整聚焦环的搬送位置以使静电卡盘的中心位置与聚焦环的中心位置一致的步骤。
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公开(公告)号：CN110243273A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910176495.6
申请日：2019-03-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01B7/06
Abstract: 本发明提供测定器和用于检查聚焦环的系统的动作方法，能够掌握聚焦环的消耗量。测定器具备基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。基底基板呈圆盘状。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器被设置为向多个传感器电极提供高频信号。运算部根据与多个传感器电极中的电位相应的多个检测值来计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。运算部具有将聚焦环的消耗量与同该消耗量对应的多个测定值的代表值相对应所得的表。运算部计算多个测定值的平均值，导出表中与多个测定值的平均值对应的聚焦环的消耗量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108693409A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810263265.9
申请日：2018-03-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01R27/2605 , G01R31/2831 , G01R31/2849 , G01R31/2865 , G01R31/2875 , G01R31/2881 , H01J37/32091 , H01J2237/334 , H01L21/67069 , H01L21/67167 , H01L21/67259 , H01L21/67742 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H05K1/0237 , H05K2201/10151
Abstract: 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。
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公开(公告)号：CN110246796B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910176749.4
申请日：2019-03-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供测定器和求出测定器的偏离量的方法。测定器具备基底基板、多个传感器电极、高频振荡器(171)、C/V转换电路(172)、A/D转换器(173)以及开关机构(190)。多个C/V转换电路(172)分别将多个传感器电极中的对应的传感器电极的电压振幅转换为表现静电电容的电压信号。开关机构(190)能够在第一状态与第二状态之间进行切换。在第一状态下，多个传感器电极分别电连接于多个C/V转换电路(172)。在第二状态下，多个电极对(105)分别电连接于多个C/V转换电路(172)中的不同的C/V转换电路(172)。多个电极对(105)分别包括多个传感器电极中的在周向上相邻的两个传感器电极。
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公开(公告)号：CN109324303B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201810842703.7
申请日：2018-07-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68
Abstract: 本公开涉及对测定器进行校准的方法和箱体。简单地对用于获取静电电容的测定器进行校准。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器设置为，向多个传感器电极提供高频信号。运算部构成为，根据与多个传感器电极的电位相应的多个检测值，使用多个函数来分别计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。箱体具有箱体主体、限制部(330)、上表面(313b)以及内周面(316b)。限制部(330)限制箱体主体内收纳的测定器的平移。多个上表面(313b)和内周面(316b)以能够与多个传感器电极分别面对的方式设置在箱体主体内。
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公开(公告)号：CN108693409B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201810263265.9
申请日：2018-03-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。
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公开(公告)号：CN109324303A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810842703.7
申请日：2018-07-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R35/00
Abstract: 本公开涉及对测定器进行校准的方法和箱体。简单地对用于获取静电电容的测定器进行校准。测定器具有基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器设置为，向多个传感器电极提供高频信号。运算部构成为，根据与多个传感器电极的电位相应的多个检测值，使用多个函数来分别计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。箱体具有箱体主体、限制部(330)、上表面(313b)以及内周面(316b)。限制部(330)限制箱体主体内收纳的测定器的平移。多个上表面(313b)和内周面(316b)以能够与多个传感器电极分别面对的方式设置在箱体主体内。
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