公开(公告)号：CN108693409A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810263265.9

申请日：2018-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 杉田吉平 ,  南朋秀 ,  西尾哲

IPC: G01R27/26

CPC classification number: G01R27/2605 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/2849 ,  G01R31/2865 ,  G01R31/2875 ,  G01R31/2881 ,  H01J37/32091 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H05K1/0237 ,  H05K2201/10151

Abstract: 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。

公开(公告)号：CN108693409B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201810263265.9

申请日：2018-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 杉田吉平 ,  南朋秀 ,  西尾哲

IPC: G01R27/26

Abstract: 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。