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公开(公告)号：CN101042994A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710100638.2
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/687 , F27B17/00 , F27D3/00 , F27D3/12
CPC classification number: F27D3/0084 , F27B17/0025 , H01L21/67265 , H01L21/67288 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明涉及一种立式热处理装置，包括：热处理炉；保持件，能够在上下方向以规定间隔多层保持多片被处理体，并且能够将其搬入搬出所述热处理炉内；移载机构，具有可以升降及旋转的基台和可以在该基台上沿水平方向进退的基板支承件；以及控制所述移载机构的控制器，其中，所述移载机构在以规定间隔收纳多片被处理体的收纳容器和所述保持件之间进行被处理体的移载，所述基板支承件包括进行水平方向进退驱动的进退驱动部和进行支承被处理体的间距的变换的间距变换驱动部，所述控制器构成为，在所述基板支承件的进退驱动部动作时，监视从间距变换驱动部的编码器输出的编码器值，在该编码器值变化时判定为异常驱动，停止所述移载机构的驱动。
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公开(公告)号：CN104103558A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410143740.0
申请日：2014-04-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67389 , H01L21/67379 , H01L21/67769 , H01L21/67772
Abstract: 本发明提供容纳容器内的气氛管理方法。其是处理装置中的容纳容器内的气氛管理方法，处理装置具有由分隔壁隔开的基板搬送区域和容器搬送区域，分隔壁具有利用开闭门进行开闭的搬送口；处理装置包括：容器保管架，其设于该容器搬送区域，用于暂时载置能够利用盖体的开闭而密闭容纳多个基板的容纳容器以供容纳容器待机；盖体开闭机构，其设于开闭门，能够一边拆卸容纳容器的与搬送口的口缘部密合的盖体一边用非活性气体对容纳容器内进行置换；气氛管理方法具有如下工序：利用盖体开闭机构来用非活性气体对容纳有未处理的基板的容纳容器内进行置换；将内部被非活性气体置换后的容纳容器搬送并载置到容器保管架上；以及使容纳容器在容器保管架上待机。
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公开(公告)号：CN100568449C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710100638.2
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/687 , F27B17/00 , F27D3/00 , F27D3/12
CPC classification number: F27D3/0084 , F27B17/0025 , H01L21/67265 , H01L21/67288 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明涉及一种立式热处理装置，包括：热处理炉；保持件，能够在上下方向以规定间隔多层保持多片被处理体，并且能够将其搬入搬出所述热处理炉内；移载机构，具有可以升降及旋转的基台和可以在该基台上沿水平方向进退的基板支承件；以及控制所述移载机构的控制器，其中，所述移载机构在以规定间隔收纳多片被处理体的收纳容器和所述保持件之间进行被处理体的移载，所述基板支承件包括进行水平方向进退驱动的进退驱动部和进行支承被处理体的间距的变换的间距变换驱动部，所述控制器构成为，在所述基板支承件的进退驱动部动作时，监视从间距变换驱动部的编码器输出的编码器值，在该编码器值变化时判定为异常驱动，停止所述移载机构的驱动。
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公开(公告)号：CN101409220B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200810167750.2
申请日：2008-09-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67775
Abstract: 提供不产生被处理体的位置偏移，可迅速平稳地将收纳容器体内气氛置换为惰性气体的被处理体导入口机构和处理系统。其包括用于分隔容器体搬送区域(34)和被处理体移放区域(36)之间并具有开口闸门(52)的分隔壁(38)和放置收纳被处理体(W)的收纳容器体(2)的放置台(54)。还设置具有可开闭地关闭开口闸门(52)的开闭门(56)的开闭门机构(57)，在开闭门(56)上设有开闭开闭盖(12)的盖开闭机构(64)。还设有在开口闸门(52)的内周具有向着收纳容器体(2)内喷射惰性气体用的由多孔材料作成筒体状的多孔气体喷身管(80)的气体喷射装置(100)、和具有对利用惰性气体清洗的收纳容器体(2)内气氛进行排气的排气口(82)的排气装置(102)。
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公开(公告)号：CN101042995A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710100672.X
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , G05B19/048 , F27D3/00
CPC classification number: H01L21/67098 , H01L21/67766 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明涉及一种立式热处理装置，其特征在于，包括：热处理炉；保持件，能够在上下方向以规定间隔多层保持多片被处理体，并且该保持件能够搬入搬出所述热处理炉内；移载机构，具有可以升降及旋转的基台和可以在该基台上沿水平方向进退的基板支承件；以及控制所述移载机构的控制器，其中，所述移载机构在以规定间隔收纳多片被处理体的收纳容器和所述保持件之间进行被处理体的移载，所述控制器构成为，监视反馈到驱动移载机构的电动机的位置、速度、电流中的至少任何一个信息，通过将该信息与预先设定的正常驱动时的信息进行比较，检测移载机构冲突时的异常驱动，在检测到异常驱动时停止移载机构的驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1320626C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03806220.8
申请日：2003-05-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 小山胜彦
CPC classification number: H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , Y10S414/14
Abstract: 本发明涉及一种被处理体的收存容器体，其包括：可以收存能保持多枚第一被处理体的开放型盒、并且具有能收存多枚与上述第一被处理体相比大口径的第二被处理体的大小的箱式容器；设置在上述箱式容器的内侧壁、多级地支持上述多枚第二被处理体的支持部；可装卸地设置在上述箱式容器开口部的开闭盖；和，可装卸地设置在上述箱式容器底部的定位卡合部。上述开闭盖可密闭上述箱式容器。上述定位卡合部与设置在上述盒的底部下面的定位部件卡合，可进行该盒的定位。
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公开(公告)号：CN102683252A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210063579.7
申请日：2012-03-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , C23C16/56
CPC classification number: H01L21/67757 , C23C16/4583 , H01L21/67109 , H01L21/67303 , H01L21/67309 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供基板输送方法和基板输送装置。该基板输送方法用于对由背面彼此相对的第1基板和第2基板隔着隔离构件层叠而成的层叠体进行输送，其包括下述工序：利用设在第1叉状件的一侧的第1夹持机构，自第1基板的背面的下方夹持第1基板来承接第1基板，使第1叉状件上下翻转而将承接的第1基板载置于第2叉状件，其中，第1叉状件设在第2叉状件的上方；利用与第1夹持机构设在第1叉状件的同一侧的第2夹持机构自隔离构件的上方夹持该隔离构件来承接该隔离构件，将承接的隔离构件载置在第1基板上；利用第1夹持机构自第2基板的表面的上方夹持该第2基板来承接第2基板，将承接的第2基板载置在已载置于第2叉状件的隔离构件上。
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公开(公告)号：CN101409220A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810167750.2
申请日：2008-09-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67775
Abstract: 提供不产生被处理体的位置偏移，可迅速平稳地将收纳容器体内气氛置换为惰性气体的被处理体导入口机构和处理系统。其包括用于分隔容器体搬送区域(34)和被处理体移放区域(36)之间并具有开口闸门(52)的分壁壁38和放置收纳被处理体(W)的收纳容器体(2)的放置台(54)。还设置具有可开闭地关闭开口闸门(52)的开闭门(56)的开闭门机构(57)，在开闭门(56)上设有开闭开闭盖(12)的盖开闭机构(64)。还设有在开口闸门(52)的内周具有向着收纳容器体2内喷射惰性气体用的由多孔材料作成筒体状的多孔气体喷身管(80)的气体喷射装置(100)、和具有对利用惰性气体清洗的收纳容器体(2)内气氛进行排气的排气口(82)的排气装置(102)。
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公开(公告)号：CN101140893A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710149139.2
申请日：2007-09-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67775
Abstract: 本发明的处理装置具有：收纳多个被处理体(w)且前面具有取出被处理体(w)的取出口(3a)和密闭取出口(3a)的盖(3b)的收纳容器(3)；搬入收纳容器(3)的搬入区域(Sa)；维持在与搬入区域(Sa)不同的气氛下的移载区域(Sb)；将搬入区域(Sa)和移载区域(Sb)之间隔开并具有开口部(13)的隔壁(6)；开关隔壁(6)的开口部(13)的门(14)；和将收纳容器(3)载置于搬入区域(Sa)的开口部(13)附近的载置部(10)。收纳容器(3)的前面一侧的两侧设置有被按压部(20)。隔壁(6)上设置有具有从侧方抵上收纳容器(3)的被押压部(20)且使收纳容器(3)保持在被按压在隔壁(6)的开口部(13)的状态的按压辊(22)的按压保持机构(23)。
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公开(公告)号：CN1643676A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03806220.8
申请日：2003-05-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 小山胜彦
CPC classification number: H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , Y10S414/14
Abstract: 本发明涉及一种被处理体的收存容器体，其包括：可以收存能保持多枚第一被处理体的开放型盒、并且具有能收存多枚与上述第一被处理体相比大口径的第二被处理体的大小的箱式容器；设置在上述箱式容器的内侧壁、多级地支持上述多枚第二被处理体的支持部；可装卸地设置在上述箱式容器开口部的开闭盖；和，可装卸地设置在上述箱式容器底部的定位卡合部。上述开闭盖可密闭上述箱式容器。上述定位卡合部与设置在上述盒的底部下面的定位部件卡合，可进行该盒的定位。
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