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公开(公告)号：CN115298355B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202180021330.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/52 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
Abstract: 提供一种基板的处理方法，包括以下工序：在基板处理装置的腔室内准备基板；基于参照存储有用于计算针对所设定的电力值的校正值Y的式(1)的系数A、B、C、D的存储部、并根据所述式(1)、所述系数A、B、C、D以及表示连续成膜了的基板的处理量的变量X而得到的校正值Y，来校正所设定的所述电力值；以及向所述腔室内施加校正后的所述电力值，来对所准备的所述基板进行处理，其中，所述式(1)表示为Y＝Aexp(BX)+CX+D，所述系数A、C、D中的至少任一方不为0，并且在系数A不为0的情况下系数B也不为0。
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公开(公告)号：CN115298355A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180021330.7
申请日：2021-03-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/52 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
Abstract: 提供一种基板的处理方法，包括以下工序：在基板处理装置的腔室内准备基板；基于参照存储有用于计算针对所设定的电力值的校正值Y的式(1)的系数A、B、C、D的存储部、并根据所述式(1)、所述系数A、B、C、D以及表示连续成膜了的基板的处理量的变量X而得到的校正值Y，来校正所设定的所述电力值；以及向所述腔室内施加校正后的所述电力值，来对所准备的所述基板进行处理，其中，所述式(1)表示为Y＝Aexp(BX)+CX+D，所述系数A、C、D中的至少任一方不为0，并且在系数A不为0的情况下系数B也不为0。
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公开(公告)号：CN102782805B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201180012090.0
申请日：2011-03-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/4065 , G05B2219/32226 , Y02P90/14
Abstract: 一种具有用于检查半导体制造装置的程序的半导体制造系统，其进行以下步骤：显示用于指定检查项目的画面的步骤，该检查项目包括具备操作事项、确认事项的检查事项；从存储部读出与所指定的检查项目对应的检查事项，按工作顺序排列，并附加各检查事项是自动执行还是手动执行的执行属性，在画面中进行显示的步骤；和通过受理检查开始指令从存储部读出第一个检查事项的步骤，并且进行与a.检查事项是操作事项，执行属性为自动执行的情况；b.检查事项是操作事项，执行属性为手动执行的情况；c.检查事项是确认事项，执行属性为自动执行的情况；d.检查事项是确认事项，执行属性为手动执行的情况对应的步骤，直至不存在下一检查事项为止。
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公开(公告)号：CN101990707A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112315.2
申请日：2009-09-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , C23C16/52 , H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67259 , C23C16/4583 , C23C16/4586 , C23C16/46 , C23C16/52
Abstract: 基板(W)的异常载置状态的检测方法，用于对在设有加热器(6a、6b)的基板载置台(3)上载置的基板(W)加热的同时进行加热时，检测该基板(W)的载置状态的异常。上述基板(W)的异常载置状态的检测方法，包括：在处理一张基板(W)的期间，根据向上述加热器(6a、6b)供给的电力输出的信息或上述基板载置台(3)的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和根据检测出的上述最大值及上述最小值或检测出的上述累计值判定上述基板的异常载置状态的工序。
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公开(公告)号：CN116453969A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310014091.3
申请日：2023-01-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供一种基板搬送方法及基板处理系统，在具备将多个基板同时搬送的搬送装置的基板处理系统中，对基板的位置偏移进行校正并进行搬送。该基板搬送方法用于基板处理系统，该基板处理系统具备：多个处理室；装载锁定室；真空搬送装置，设置在将所述装载锁定室与所述处理室连接的真空搬送室中，并且将多个基板同时地搬送；以及大气搬送装置，设置在大气搬送室中，并且将基板从承载器搬送到所述装载锁定室，所述基板搬送方法具有：预先取得多个所述基板从所述装载锁定室被搬送到所述处理室并被载置于所述处理室的载置部时的相对位置偏移量的工序；以及基于所述基板的搬送路径和所述相对位置偏移量，将多个所述基板载置于所述装载锁定室的载置部的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102782805A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180012090.0
申请日：2011-03-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/677
CPC classification number: G05B19/4065 , G05B2219/32226 , Y02P90/14
Abstract: 一种具有用于检查半导体制造装置的程序的半导体制造系统，其进行以下步骤：显示用于指定检查项目的画面的步骤，该检查项目包括具备操作事项、确认事项的检查事项；从存储部读出与所指定的检查项目对应的检查事项，按工作顺序排列，并附加各检查事项是自动执行还是手动执行的执行属性，在画面中进行显示的步骤；和通过受理检查开始指令从存储部读出第一个检查事项的步骤，并且进行与a.检查事项是操作事项，执行属性为自动执行的情况；b.检查事项是操作事项，执行属性为手动执行的情况；c.检查事项是确认事项，执行属性为自动执行的情况；d.检查事项是确认事项，执行属性为手动执行的情况对应的步骤，直至不存在下一检查事项为止。
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公开(公告)号：CN113471098B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202110308892.1
申请日：2021-03-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法以及控制装置，能够更有效地抑制处理结果的变动。基板处理系统具有对基板进行处理的处理模块、向处理模块重复搬送多个基板的搬送机构、以及控制处理模块中的对基板的处理的控制装置。控制装置用于基于工艺制程来进行处理模块中的处理，并且所述控制装置具有针对工艺制程的步骤的步骤时间设定偏置时间的功能，所述偏置时间是与通过处理模块进行了处理的基板张数对应的函数、或者是同与进行了处理的基板张数相当的参数对应的函数。
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公开(公告)号：CN113471098A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110308892.1
申请日：2021-03-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法以及控制装置，能够更有效地抑制处理结果的变动。基板处理系统具有对基板进行处理的处理模块、向处理模块重复搬送多个基板的搬送机构、以及控制处理模块中的对基板的处理的控制装置。控制装置用于基于工艺制程来进行处理模块中的处理，并且所述控制装置具有针对工艺制程的步骤的步骤时间设定偏置时间的功能，所述偏置时间是与通过处理模块进行了处理的基板张数对应的函数、或者是同与进行了处理的基板张数相当的参数对应的函数。
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公开(公告)号：CN111809166A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010254572.8
申请日：2020-04-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/52 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种能够缩短制程时间的处理装置和处理方法。处理装置是进行基板的处理的处理装置，其具备多个终端设备、控制特定的终端设备的下位控制部以及控制部。控制部执行处理基板的制程，来确定制程的多个控制步骤中的满足特定的条件的控制步骤，将确定出的控制步骤发送到下位控制部。下位控制部基于从控制部接收到的控制步骤来控制对应的特定的终端设备。
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公开(公告)号：CN101990707B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200980112315.2
申请日：2009-09-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , C23C16/52 , H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/67259 , C23C16/4583 , C23C16/4586 , C23C16/46 , C23C16/52
Abstract: 基板(W)的异常载置状态的检测方法，用于对在设有加热器(6a、6b)的基板载置台(3)上载置的基板(W)加热的同时进行加热时，检测该基板(W)的载置状态的异常。上述基板(W)的异常载置状态的检测方法，包括：在处理一张基板(W)的期间，根据向上述加热器(6a、6b)供给的电力输出的信息或上述基板载置台(3)的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和根据检测出的上述最大值及上述最小值或检测出的上述累计值判定上述基板的异常载置状态的工序。
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