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公开(公告)号：CN1296985C
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200410048415.2
申请日：2004-06-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102376546A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110225012.0
申请日：2011-08-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: C23C16/52 , G03F7/16 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种能够简便地对使液体的药剂气化而获得的处理气体是否被供给到基板进行检测的气化装置、基板处理装置、涂覆显影装置和基板处理方法。该基板处理装置具有该气化装置，该涂覆显影装置具有该基板处理装置，公开的气化装置包括：气体供给部，其将用于对被加热板气化的药剂进行输送的载气向容器内供给；加热板，其配置在容器内，用于加热液体的药剂而使液体的药剂气化；第1检测部，其对向容器内的载气的供给进行检测；第2检测部，其对利用加热板的液体的药剂的气化进行检测。
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公开(公告)号：CN102376546B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201110225012.0
申请日：2011-08-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: C23C16/52 , G03F7/16 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种能够简便地对使液体的药剂汽化而获得的处理气体是否被供给到基板进行检测的汽化装置、基板处理装置、涂覆显影装置和基板处理方法。该基板处理装置具有该汽化装置，该涂覆显影装置具有该基板处理装置，公开的汽化装置包括：气体供给部，其将用于对被加热板汽化的药剂进行输送的载气向容器内供给；加热板，其配置在容器内，用于加热液体的药剂而使液体的药剂汽化；第1检测部，其对向容器内的载气的供给进行检测；第2检测部，其对利用加热板的液体的药剂的汽化进行检测。
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公开(公告)号：CN1312729C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200410048760.6
申请日：2004-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67754 , H01L21/6715 , H01L21/67259 , H01L21/681 , Y10S414/139 , Y10S414/141
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板搬送装置的位置对准方法，该装置包括：相对处理单元的搬送口而预先确定左右方向的位置坐标的第一光学检测用标记；相对搬送口而预先确定上下方向的位置坐标的第二光学检测用标记；和设置于基板搬送装置、用于检测第一或第二光学检测用标记的光传感器。使基板搬送装置从光传感器测出第一光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始仅旋转预定的角度，使基板搬送装置从测出第二光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始在上下方向仅移动预定的移动量。使基板搬送装置与处理单元的搬送口相对后，预先获取使基板搬送装置进入处理单元内，将基板传递到处理单元内的载置台的规定位置时的正确的接收传递位置的数据。
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公开(公告)号：CN1574210A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410048760.6
申请日：2004-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67754 , H01L21/6715 , H01L21/67259 , H01L21/681 , Y10S414/139 , Y10S414/141
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板搬送装置的位置对准方法，该装置包括：相对处理单元的搬送口而预先确定左右方向的位置坐标的第一光学检测用标记；相对搬送口而预先确定上下方向的位置坐标的第二光学检测用标记；和设置于基板搬送装置、用于检测第一或第二光学检测用标记的光传感器。使基板搬送装置从光传感器测出第一光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始仅旋转预定的角度，使基板搬送装置从测出第二光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始在上下方向仅移动预定的移动量。使基板搬送装置与处理单元的搬送口相对后，预先获取使基板搬送装置进入处理单元内，将基板传递到处理单元内的载置台的规定位置时的正确的接收传递位置的数据。
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公开(公告)号：CN1573568A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410048415.2
申请日：2004-06-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68 , B65G49/07
Abstract: 一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。
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