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公开(公告)号：CN101727009B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910205874.X
申请日：2009-10-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 木下道生
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B1/14 , B05B12/08 , B05B15/531 , G03F7/162 , G03F7/3021
Abstract: 本发明提供液处理装置和液处理方法，用干燥抑制溶剂将不使用的涂敷液喷嘴前端部密封，能够简单地将用于防止长时间干燥的处理调整为最佳状态，在根据吸引溶剂层的量设定的长时间内，可以不进行虚拟分液。本发明的液处理装置(方法)用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向上述基板的表面喷出，形成涂敷膜，设有摄像涂敷液喷嘴(10)前端部的单元，预先利用插入显示摄像图像的画面中的软尺(121a)设定用于进行防止长时间干燥的处理时的涂敷液的位置和干燥抑制溶剂的位置，从而不依赖于目测而基于设定值进行分液控制，进行上述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1296985C
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200410048415.2
申请日：2004-06-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。
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公开(公告)号：CN101727009A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910205874.X
申请日：2009-10-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 木下道生
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B1/14 , B05B12/08 , B05B15/531 , G03F7/162 , G03F7/3021
Abstract: 本发明提供液处理装置和液处理方法，用干燥抑制溶剂将不使用的涂敷液喷嘴前端部密封，能够简单地将用于防止长时间干燥的处理调整为最佳状态，在根据吸引溶剂层的量设定的长时间内，可以不进行虚拟分液。本发明的液处理装置(方法)用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向上述基板的表面喷出，形成涂敷膜，设有摄像涂敷液喷嘴(10)前端部的单元，预先利用插入显示摄像图像的画面中的软尺(121a)设定用于进行防止长时间干燥的处理时的涂敷液的位置和干燥抑制溶剂的位置，从而不依赖于目测而基于设定值进行分液控制，进行上述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整。
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公开(公告)号：CN1312729C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200410048760.6
申请日：2004-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67754 , H01L21/6715 , H01L21/67259 , H01L21/681 , Y10S414/139 , Y10S414/141
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板搬送装置的位置对准方法，该装置包括：相对处理单元的搬送口而预先确定左右方向的位置坐标的第一光学检测用标记；相对搬送口而预先确定上下方向的位置坐标的第二光学检测用标记；和设置于基板搬送装置、用于检测第一或第二光学检测用标记的光传感器。使基板搬送装置从光传感器测出第一光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始仅旋转预定的角度，使基板搬送装置从测出第二光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始在上下方向仅移动预定的移动量。使基板搬送装置与处理单元的搬送口相对后，预先获取使基板搬送装置进入处理单元内，将基板传递到处理单元内的载置台的规定位置时的正确的接收传递位置的数据。
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公开(公告)号：CN1574210A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410048760.6
申请日：2004-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67754 , H01L21/6715 , H01L21/67259 , H01L21/681 , Y10S414/139 , Y10S414/141
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板搬送装置的位置对准方法，该装置包括：相对处理单元的搬送口而预先确定左右方向的位置坐标的第一光学检测用标记；相对搬送口而预先确定上下方向的位置坐标的第二光学检测用标记；和设置于基板搬送装置、用于检测第一或第二光学检测用标记的光传感器。使基板搬送装置从光传感器测出第一光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始仅旋转预定的角度，使基板搬送装置从测出第二光学检测用标记时的基板搬送装置的位置开始在上下方向仅移动预定的移动量。使基板搬送装置与处理单元的搬送口相对后，预先获取使基板搬送装置进入处理单元内，将基板传递到处理单元内的载置台的规定位置时的正确的接收传递位置的数据。
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公开(公告)号：CN1573568A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410048415.2
申请日：2004-06-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68 , B65G49/07
Abstract: 一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。
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