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公开(公告)号：CN109622991A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811335649.3
申请日：2018-11-11
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 一种单晶硅透镜的超精密车削加工方法，其步骤包括：(1)采用多孔质石墨材料经车削后做成分段仿形的真空吸盘，在实现稳定装夹的情况下，尽量减小透镜的真空吸附变形，更有利于得到高的加工面形精度；同时，多孔质石墨材料柔软且不易起毛刺，不会刮伤单晶硅表面，更有利于避免已加工表面划痕和麻点的产生；(2)采用超声振动切削技术，使切削状态由连续切削变为断续切削，从而降低切削力和切削温度，增加金刚石刀具寿命；(3)采用水基切削液，并混入纳米氧化物球状颗粒，使其进入前刀面和切屑接触区域，将部分滑动摩擦转变为滚动摩擦，进一步降低切削力和切削温度，增加金刚石刀具寿命。
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公开(公告)号：CN117754114A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311763453.5
申请日：2023-12-19
Applicant: 华中科技大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: B23K26/00 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于精密特种加工设备相关技术领域，并公开了一种圆筒构件内表面激光加工系统，其包括光学气浮隔振平台、飞秒激光器、龙门架组件、三维振镜组件和四自由度组合位移台，其中该飞秒激光器用于发出激光束，并经由配套的激光光路组件传导后进入所述三维振镜组件中；该三维振镜组件对激光束的焦点位置进行调节，并使得整个激光加工过程中激光束焦点始终保持在圆筒构件的内表面上；该四自由度组合位移台用于对圆筒构件的位姿进行调节，使得圆筒构件的内表面可执行大面阵激光加工处理。通过本发明，能够以结构紧凑、便于操控的方式解决圆筒构件内表面的激光加工难题，并且显著提升了加工效率和性能，拓宽了微结构激光加工系统的应用范围。
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公开(公告)号：CN112577522B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202011400556.1
申请日：2020-12-04
Applicant: 华中科技大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明属于半球谐振陀螺配套检测设备领域，并具体公开了一种高真空下石英半球谐振子性能参数测量装置，其包括真空单元、运动单元、激励单元及数据采集与处理单元，真空单元包括真空腔体，真空腔体的侧壁设有玻璃观察窗口；运动单元和激励单元置于真空腔体中，运动单元用于调节石英半球谐振子的空间姿态与位置，激励单元用于产生瞬态激励以使石英半球谐振子振动；数据采集与处理单元设于真空腔体的玻璃观察窗口的旁侧，用于将测量激光发射至石英半球谐振子表面，并基于接收的反射光信息进行数据处理获得石英半球谐振子的性能参数。本发明可实现高真空环境下的石英半球谐振子性能参数的高精度测量，具有测量精度高、操作简单、可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN113458588A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110641768.7
申请日：2021-06-09
Applicant: 上海航天控制技术研究所 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种小口径深孔内壁激光加工系统，包含光学隔振平台、飞秒激光器、激光调制组件、激光入射调整组件、激光偏转组件、辅助工装、六自由度组合位移台和底座。本发明提供的小口径深孔内壁激光加工系统，通过激光偏转组件调整激光的反射方向，使激光从不同角度射入工件孔、对孔内壁进行加工处理，也可以通过所述六自由度组合位移台带动工件，使得工件靠近或远离工件、并能够对工件进行多角度的移动或偏转，使不同孔内壁得到激光的加工处理，极大地提高了激光加工处理能力和处理效果，扩大了系统的使用范围，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN109652190A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811335648.9
申请日：2018-11-11
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: C10M173/02 , C10M177/00 , C10N30/06
Abstract: 一种抑制金刚石车刀磨损的纳米颗粒润滑液的配方，采用加入防锈剂的去离子水作为润滑液的主体，并用喷雾的形式进行润滑和冷却，最大限度地带走切削过程中的热量；在润滑液中加入纳米二氧化硅球状颗粒，并加入PH调节剂和分散剂，使纳米球状颗粒均匀悬浮在润滑液中，并被喷射到切削区域，使前刀面与切屑之间的滑动摩擦部分转变为滚动摩擦，进一步减小切削力和切削热，增加金刚石刀具寿命；所用润滑液在超声振动切削工艺下使用，超声振动切削过程中金刚石车刀周期性脱离工件表面，使得纳米颗粒更容易进入切削区域实现润滑；同时超声振动可以时纳米颗粒时刻保持分散状态而不团聚。该配方可用来减小超精密切削单晶硅材料时的刀具磨损。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109628904A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811521859.1
申请日：2018-12-13
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: C23C14/50
CPC classification number: C23C14/505
Abstract: 本专利公开了一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，该装置包含：公转电机、自转电机、摆动电机，公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动。自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转。摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动，通过拨叉带动齿条驱动齿轮实现工件摆动。本发明可实现半球谐振陀螺镀膜过程中空间运动，全表面一次性成膜，集公转、自转和摆动三种运动于一体，且公转速度、自转速度与自转方向独立可调，向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定，提高镀膜均匀性，解决了半球谐振陀螺镀膜合格率低的问题，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN113458588B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110641768.7
申请日：2021-06-09
Applicant: 上海航天控制技术研究所 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种小口径深孔内壁激光加工系统，包含光学隔振平台、飞秒激光器、激光调制组件、激光入射调整组件、激光偏转组件、辅助工装、六自由度组合位移台和底座。本发明提供的小口径深孔内壁激光加工系统，通过激光偏转组件调整激光的反射方向，使激光从不同角度射入工件孔、对孔内壁进行加工处理，也可以通过所述六自由度组合位移台带动工件，使得工件靠近或远离工件、并能够对工件进行多角度的移动或偏转，使不同孔内壁得到激光的加工处理，极大地提高了激光加工处理能力和处理效果，扩大了系统的使用范围，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN109652780A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811518316.4
申请日：2018-12-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/35 , C23C14/505
Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法，创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动，使被镀异型零件进行高精度多自由度运动，实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数，调整异型零件相对溅射沉积时间，提高异型零件均匀性，同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3％。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。
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公开(公告)号：CN112609166A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011403027.7
申请日：2020-12-04
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，包括：顶针、卡头、弹性件和拉杆，谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触，卡头座与卡头连接，谐振子中心轴的另一端固定在顶针上；弹性件套设于拉杆上；顶针和拉杆形成拉杆顶针，拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中，可使夹持夹具与谐振子接触面积小，对谐振子任何表面无遮挡，所有表面能够一次成膜，无需翻面镀制；夹具对谐振子有效夹持，可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤，能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN109652780B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201811518316.4
申请日：2018-12-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法，创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动，使被镀异型零件进行高精度多自由度运动，实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数，调整异型零件相对溅射沉积时间，提高异型零件均匀性，同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3％。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。
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