公开(公告)号：CN112609166A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011403027.7

申请日：2020-12-04

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 朱蓓蓓 ,  孟光 ,  秦琳 ,  墨洪磊 ,  兰洁 ,  袁航 ,  陆波 ,  陈勰 ,  杨英杰 ,  程辉

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，包括：顶针、卡头、弹性件和拉杆，谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触，卡头座与卡头连接，谐振子中心轴的另一端固定在顶针上；弹性件套设于拉杆上；顶针和拉杆形成拉杆顶针，拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中，可使夹持夹具与谐振子接触面积小，对谐振子任何表面无遮挡，所有表面能够一次成膜，无需翻面镀制；夹具对谐振子有效夹持，可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤，能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题，提高生产效率。

公开(公告)号：CN109176163A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201811288547.0

申请日：2018-10-31

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 兰洁 ,  孟光 ,  袁航 ,  陆波 ,  周如好 ,  朱蓓蓓 ,  郭凌曦

IPC: B24B1/00

CPC classification number: B24B1/00

Abstract: 本发明公开了一种铝酸镁光学半球薄壁件的高效超精密加工方法，通过设计高速研磨、抛光模具，研究模具制备和修整技术，将模具的面形精度控制在2μm以内；通过设计新的粘结用胶，研究粘接技术和工艺过程，解决半球薄壁件的面形变形问题；分析高速研磨、抛光技术对铝酸镁光学半球薄壁件面形精度和表面粗糙度的影响，研究加工区域材料去除机理；分析高速研磨、抛光工艺参数对研磨、抛光区域材料去除效率和表面质量的影响，创新性的采用准球心高速研磨抛光技术加工铝酸镁光学半球薄壁件，最终保证产品面形精度N＜2，ΔN＜0.2，表面粗糙度Ra