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公开(公告)号:CN109622991A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201811335649.3
申请日:2018-11-11
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 一种单晶硅透镜的超精密车削加工方法,其步骤包括:(1)采用多孔质石墨材料经车削后做成分段仿形的真空吸盘,在实现稳定装夹的情况下,尽量减小透镜的真空吸附变形,更有利于得到高的加工面形精度;同时,多孔质石墨材料柔软且不易起毛刺,不会刮伤单晶硅表面,更有利于避免已加工表面划痕和麻点的产生;(2)采用超声振动切削技术,使切削状态由连续切削变为断续切削,从而降低切削力和切削温度,增加金刚石刀具寿命;(3)采用水基切削液,并混入纳米氧化物球状颗粒,使其进入前刀面和切屑接触区域,将部分滑动摩擦转变为滚动摩擦,进一步降低切削力和切削温度,增加金刚石刀具寿命。
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公开(公告)号:CN109652780A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201811518316.4
申请日:2018-12-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/35 , C23C14/505
Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法,创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动,使被镀异型零件进行高精度多自由度运动,实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数,调整异型零件相对溅射沉积时间,提高异型零件均匀性,同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3%。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。
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公开(公告)号:CN119596510A
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202411829408.X
申请日:2024-12-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种大动态星敏感器光学镜头,包括:从物侧面到像侧面依次设置的前透镜组、光阑、后透镜组和像面;所述前透镜组收集光线、校正像差,并形成中间像;所述光阑通过调整其相对孔径以控制光通量;所述后透镜组放大中间像、校正像差、并形成最终像;所述像面对最终像进行光学成像;其中,所述前透镜组包含:从物侧面到像侧面依次设置的第一正弯月透镜和第一双凸透镜;所述后透镜组包含:从物侧面到像侧面依次设置的第一双凹透镜、第二双凸透镜、第二正弯月透镜、第一负弯月透镜、第二双凹透镜和第一滤光片。本发明提供的光学镜头,具有圆光斑、大相对孔径、低色差、低畸变、高分辨率、各个视场离焦后光斑形态以及能量偏差小的特点。
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公开(公告)号:CN109652190A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201811335648.9
申请日:2018-11-11
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: C10M173/02 , C10M177/00 , C10N30/06
Abstract: 一种抑制金刚石车刀磨损的纳米颗粒润滑液的配方,采用加入防锈剂的去离子水作为润滑液的主体,并用喷雾的形式进行润滑和冷却,最大限度地带走切削过程中的热量;在润滑液中加入纳米二氧化硅球状颗粒,并加入PH调节剂和分散剂,使纳米球状颗粒均匀悬浮在润滑液中,并被喷射到切削区域,使前刀面与切屑之间的滑动摩擦部分转变为滚动摩擦,进一步减小切削力和切削热,增加金刚石刀具寿命;所用润滑液在超声振动切削工艺下使用,超声振动切削过程中金刚石车刀周期性脱离工件表面,使得纳米颗粒更容易进入切削区域实现润滑;同时超声振动可以时纳米颗粒时刻保持分散状态而不团聚。该配方可用来减小超精密切削单晶硅材料时的刀具磨损。
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公开(公告)号:CN111975464A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN202010724046.3
申请日:2020-07-24
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种光学零件加工方法及系统,包括:步骤S1:将零件基体加工至设定尺寸精度,获取零件基体加工结果信息;步骤S2:根据光学零件基体加工结果信息,对零件进行研磨抛光加工,获取研磨抛光加工结果信息;步骤S3:根据研磨抛光加工结果信息,对零件进行改性层镀制,获取改性层镀制结果信息;步骤S4:根据改性层镀制结果信息,对零件进行单点金刚石车削加工,获取单点金刚石车削加工结果信息。本发明可实现零件的快速加工,提升产品加工效率,进而提升产品加工经济效益;同时所述方法可实现复杂结构光学零件的高效加工,尤其是在高次非球面、自由曲面、光学微结构等方面优势更加明显。
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公开(公告)号:CN109176163A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201811288547.0
申请日:2018-10-31
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: B24B1/00
CPC classification number: B24B1/00
Abstract: 本发明公开了一种铝酸镁光学半球薄壁件的高效超精密加工方法,通过设计高速研磨、抛光模具,研究模具制备和修整技术,将模具的面形精度控制在2μm以内;通过设计新的粘结用胶,研究粘接技术和工艺过程,解决半球薄壁件的面形变形问题;分析高速研磨、抛光技术对铝酸镁光学半球薄壁件面形精度和表面粗糙度的影响,研究加工区域材料去除机理;分析高速研磨、抛光工艺参数对研磨、抛光区域材料去除效率和表面质量的影响,创新性的采用准球心高速研磨抛光技术加工铝酸镁光学半球薄壁件,最终保证产品面形精度N<2,ΔN<0.2,表面粗糙度Ra
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公开(公告)号:CN112609166A
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN202011403027.7
申请日:2020-12-04
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触,卡头座与卡头连接,谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中,可使夹持夹具与谐振子接触面积小,对谐振子任何表面无遮挡,所有表面能够一次成膜,无需翻面镀制;夹具对谐振子有效夹持,可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤,能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN109652780B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201811518316.4
申请日:2018-12-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法,创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动,使被镀异型零件进行高精度多自由度运动,实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数,调整异型零件相对溅射沉积时间,提高异型零件均匀性,同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3%。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。
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公开(公告)号:CN110757255A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201910968384.9
申请日:2019-10-12
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: B24B1/00 , B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B51/00
Abstract: 本发明提供了一种适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法及系统,上盘工装粘接步骤:将铣磨完毕的零件粘接在上盘工装上;零件最接近球面计算步骤:获取零件最接近球曲率半径信息;抛光垫选择步骤:设置抛光垫厚度为预定厚度,设置抛光垫形状为设定形状,获取抛光垫厚度信息;磨具加工步骤:根据抛光垫厚度信息、零件最接近球曲率半径信息,计算模具曲率半径,加工设定曲率半径的磨具;光顺加工步骤:使用设定曲率半径的磨具,对零件进行光顺加工,获取预定表面粗糙度、预定面形精度的零件。本发明可高效率的加工非球面光学零件,大大降低非球面光学零件的加工时间,节约成本。
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