公开(公告)号：CN109652780A

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201811518316.4

申请日：2018-12-12

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 朱蓓蓓 ,  兰洁 ,  申振丰 ,  许剑锋 ,  陈肖 ,  袁航 ,  陆波 ,  杨英杰 ,  李维源

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/542 ,  C23C14/35 ,  C23C14/505

Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法，创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动，使被镀异型零件进行高精度多自由度运动，实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数，调整异型零件相对溅射沉积时间，提高异型零件均匀性，同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3％。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。

公开(公告)号：CN112609166A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011403027.7

申请日：2020-12-04

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 朱蓓蓓 ,  孟光 ,  秦琳 ,  墨洪磊 ,  兰洁 ,  袁航 ,  陆波 ,  陈勰 ,  杨英杰 ,  程辉

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，包括：顶针、卡头、弹性件和拉杆，谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触，卡头座与卡头连接，谐振子中心轴的另一端固定在顶针上；弹性件套设于拉杆上；顶针和拉杆形成拉杆顶针，拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中，可使夹持夹具与谐振子接触面积小，对谐振子任何表面无遮挡，所有表面能够一次成膜，无需翻面镀制；夹具对谐振子有效夹持，可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤，能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题，提高生产效率。

公开(公告)号：CN109652780B

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201811518316.4

申请日：2018-12-12

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 朱蓓蓓 ,  兰洁 ,  申振丰 ,  许剑锋 ,  陈肖 ,  袁航 ,  陆波 ,  杨英杰 ,  李维源

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54

Abstract: 本专利提供了一种提高异形零件镀膜均匀性的控制方法，创新性的提出采用光线模拟技术模拟异型零件多自由度运动，使被镀异型零件进行高精度多自由度运动，实时调节异型零件摆动角度、自转速率、公转周期等运动参数，调整异型零件相对溅射沉积时间，提高异型零件均匀性，同时合理监测薄膜厚度。最终保证产品膜层厚度小于80nm、膜层均匀性小于3％。解决了异型零件镀膜膜层均匀性难以控制的问题。