公开(公告)号：CN109628904A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201811521859.1

申请日：2018-12-13

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 朱蓓蓓 ,  兰洁 ,  申振丰 ,  许剑锋 ,  陈肖 ,  郭凌曦 ,  程辉 ,  袁超 ,  孙晴晗

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C14/505

Abstract: 本专利公开了一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，该装置包含：公转电机、自转电机、摆动电机，公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动。自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转。摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动，通过拨叉带动齿条驱动齿轮实现工件摆动。本发明可实现半球谐振陀螺镀膜过程中空间运动，全表面一次性成膜，集公转、自转和摆动三种运动于一体，且公转速度、自转速度与自转方向独立可调，向上摆动速度、向下摆动速度、摆动仰角和上、下停顿时间均可按需要随意设定，提高镀膜均匀性，解决了半球谐振陀螺镀膜合格率低的问题，提高生产效率。