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公开(公告)号：CN214087704U
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202023231156.0
申请日：2020-12-28
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 苏州纳格光电科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种MEMS气体传感器芯片的封装结构，该封装结构借助于两个PCB板，将气体传感器芯片的第一芯片和第二芯片分别贴装于两个独立的PCB板上，在PCB板层面即可完成第一芯片和第二芯片的电阻配对工作，同时降低了封装成本，也可以方便地转移至塑料或金属基座，进而加装防爆外壳和放水透气膜，解决了现有技术中的封装结构的配对误差大，封装成本高，以及在贴装之后，无法进行二次更换的问题。
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公开(公告)号：CN111965811A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010946950.9
申请日：2020-09-10
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供的三维MEMS扫描镜，应用于微机电系统技术领域，包括镜片和二维扫描机构，所述镜片包括镜片本体和电控形变层，电控形变层覆盖镜片本体上的预设区域，并且电控形变层的控制端与控制电源相连，根据接收的电流或电压，电控形变层可带动镜片本体产生离面位移。在实际使用中，通过控制电源输出不同的电流或电压，控制电控形变层带动镜片本体产生离面位移，进而改变镜面曲率，调整焦距，再辅之以二维扫描机构，实现三维扫描。因此，本发明提供的扫描镜镜片不依赖现有镜片结构中的空腔即可改变镜面曲率，降低镜片的加工难度和加工成本。
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公开(公告)号：CN111278175A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201811482768.1
申请日：2018-12-05
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种加热器结构及其制备方法、氢气传感器，其中，所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案，且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度，为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域，从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时，只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可，不仅降低了加热结构的形成难度，而且提升了形成的加热结构的形状的精度，避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现，提升了所述加热器结构检测精度。
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公开(公告)号：CN110876048A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201911202845.8
申请日：2019-11-29
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: H04N9/31
Abstract: 本申请公开了一种激光扫描投影系统，由于第一预设平面与所述第一单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直，因此扫描激光在入射到第一单轴MEMS振镜的反射面上形成第一反射激光时，第一反射激光不会由于第一单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲；同样的，由于第二预设平面与所述第二单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直，因此第二单轴MEMS振镜反射形成的扫描光束也不会由于第二单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲，从而使得最终形成在屏幕上的图像不会存在明显的不对称畸变，实现降低激光扫描投影系统投影图像的畸变的目的，避免了现有技术中的激光扫描投影系统投影的图像畸变明显且难以矫正的问题。
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公开(公告)号：CN110501812A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910839155.7
申请日：2019-09-05
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种MEMS扫描镜，包括：镜体；所述镜体的两侧均连接有能够弯曲的应力弯曲梁，所述应力弯曲梁沿厚度方向残余应力由顶层向底层缩小；可动梳齿，所述可动梳齿安装在所述应力弯曲梁的侧面；固定梳齿，所述固定梳齿一端固定布置，另一端与所述应力弯曲梁间隔布置；扭转梁，所述扭转梁一端与所述应力弯曲梁另一端相连，所述扭转梁另一端与固定件相连。利用加工工艺中的残余应力带来的应力不匹配，使应力弯曲梁翘曲变形而带动可动梳齿自发与固定梳齿产生高度差。残余应力在微纳加工工艺中是难以避免的，总是或多或少存在，因此，基于残余应力实现垂直梳齿不需要额外的加工手段，降低了成本，且具有自组装、自对准等优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112305750A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910713721.X
申请日：2019-08-02
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本申请公开了一种MEMS振镜及光学系统，其中，所述MEMS振镜将激励线圈、信号输入端和信号输出端均设置在边缘结构上，所述激励线圈根据接收的激励信号，通过机械耦合和机械放大效应，实现间接的微镜驱动，避免了激励线圈在工作过程中产生的热量给微镜扫描工作时的温度稳定性造成不良影响的情况出现，避免了快速扫描时激励线圈的疲劳失效的问题，提升了微镜的工作寿命；同样由于激励线圈没有直接设置在微镜表面上，降低了微镜扫描时的总体重量，提升了微镜的扫描频率，实现了微镜的高频率工作。
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公开(公告)号：CN109461659A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811324116.5
申请日：2018-11-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所 , 上海汽车集团股份有限公司
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/78 , H01L29/45
Abstract: 本发明提供一种碳化硅MOSFET器件及其制备方法，涉及半导体制造领域。其制备方法包括：通过对P阱层和N+源极区位置的部分表面SiC材料进行过刻蚀；刻蚀源极接触窗口，并在所述P阱层和N+源极区表面溅射源极金属以形成欧姆接触。本发明通过对P阱层表面进行刻蚀，使高浓度P阱区能够与源极金属实现直接欧姆接触，不仅优化了电流传输路径，且无需高剂量的P+注入，减少注入损伤，降低了制备成本。
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公开(公告)号：CN110879466A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911224150.X
申请日：2019-12-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 上海汽车集团股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，包括可绕一扭转轴扭转的镜面，还包括偶数组梳齿驱动器，其中一半梳齿驱动器与另一半梳齿驱动器的位置关于镜面扭转轴对称，分别位于轴的两侧，所有梳齿驱动器均由固定梳齿和可动梳齿组成，其中可动梳齿与镜面直接相连或通过梁、杆等与镜面相连，所有梳齿驱动器中位于镜面扭转轴同一侧的一半为垂直梳齿驱动器，另一半为常规梳齿驱动器，扫描镜工作时所有的固定梳齿之间同电势，所有的可动梳齿之间同电势。本发明解决了现有技术需要2倍频驱动电源，且最大扫描角不稳定的问题。
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公开(公告)号：CN209806099U
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201822040465.6
申请日：2018-12-05
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种加热器结构及氢气传感器，包括衬底，以及位于衬底第一表面中，且部分贯穿所述衬底的第一图案；覆盖所述衬底表面以及所述通孔的绝缘膜层，所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案，且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度，为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域，从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时，只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可，不仅降低了加热结构的形成难度，而且提升了形成的加热结构的形状的精度，避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现，提升了所述加热器结构检测精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209055512U
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201821577281.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司
Abstract: 本申请公开了一种敏感探头，包括：壳体；设置在所述壳体内，能够进行探测的探测组件；与所述探测组件连接并能够带动所述探测组件转动的连接件，且所述连接件的至少一端伸出至所述壳体之外。上述的敏感探头，令设置在壳体内的探测组件与连接件连接，由于连接件能够带动探测组件进行转动，且连接件的一端位于壳体之外，所以通过在壳体外转动连接件，就能够实现壳体内探测组件的转动，从而使得敏感探头在非水平布置的情况下，也能够通过转动连接件令探测组件水平布置，使得探测精度得以提高。本申请还提供了具有上述敏感探头的一种传感器。
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