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公开(公告)号：CN112305750A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910713721.X
申请日：2019-08-02
Applicant: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本申请公开了一种MEMS振镜及光学系统，其中，所述MEMS振镜将激励线圈、信号输入端和信号输出端均设置在边缘结构上，所述激励线圈根据接收的激励信号，通过机械耦合和机械放大效应，实现间接的微镜驱动，避免了激励线圈在工作过程中产生的热量给微镜扫描工作时的温度稳定性造成不良影响的情况出现，避免了快速扫描时激励线圈的疲劳失效的问题，提升了微镜的工作寿命；同样由于激励线圈没有直接设置在微镜表面上，降低了微镜扫描时的总体重量，提升了微镜的扫描频率，实现了微镜的高频率工作。
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公开(公告)号：CN111257979A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010067269.7
申请日：2020-01-20
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种激光扫描装置，包括激光器、反射镜和控制器，其中，反射镜能够反射激光器所发生的激光的同时，还能够检测该激光的光强度并将所检测的光强度信息传递给控制器，控制器根据该光强度信息调节激光器的输出。本发明增加了检测激光器的激光光强度的反馈控制，而且还保持了激光扫描装置原来的体积。本发明还公开了上述反射镜的制作方法。
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公开(公告)号：CN110764251B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201810823608.2
申请日：2018-07-25
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种扫描微镜控制方法，产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波；获取所述扫描微镜的第一位置信号；根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动。本发明还公开了一种扫描微镜控制装置。本发明通过先确定对扫描微镜扰动最小的输入锯齿波作为输入信号，再对扫描微镜进行闭环控制，可有效降低扫描微镜的失真响应。
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公开(公告)号：CN110764251A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201810823608.2
申请日：2018-07-25
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种扫描微镜控制方法，产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波；获取所述扫描微镜的第一位置信号；根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动。本发明还公开了一种扫描微镜控制装置。本发明通过先确定对扫描微镜扰动最小的输入锯齿波作为输入信号，再对扫描微镜进行闭环控制，可有效降低扫描微镜的失真响应。
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公开(公告)号：CN107643594A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201610573084.7
申请日：2016-07-20
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明提供了一种扫描镜装置，包括：基座；设置于所述基座中且彼此相对的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽均用于容置电线圈；与所述基座相对设置的承载板，所述承载板中具有第一通孔；设置于所述第一通孔中的振镜，所述振镜的相对两端分别与所述承载板活动连接，所述振镜能够以其相对两端之间的连线为轴线进行偏转；设置于所述振镜一表面上的磁性体；其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽之间的连线与所述振镜的相对两端之间的连线相交。本发明集磁性体与振镜于一体，并采用外置电线圈的电磁驱动方式为扫描镜装置提供了很大的驱动力，满足了扫描镜装置的高分辨率及大屏幕成像的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117724238A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311703934.7
申请日：2023-12-12
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微镜结构及其应用。监控MEMS微镜运动状态的方法包括：在MEMS微镜上设置光电探测器，所述光电探测器能够与所述MEMS微镜同步运动，其中，所述光电探测器具有纳米光栅结构，所述纳米光栅结构与所述MEMS微镜的镜面位于同一侧；获得所述光电探测器输出的电流值和/或电流波形，根据所述电流值和/或所述电流波形的两个波形尖峰的时间间隔来判断所述MEMS微镜是否发生偏转和/或偏转角度。本发明通过在MEMS微镜的镜面上集成纳米光栅的光电反馈元件，避免了通过外置光电传感器来检测MEMS微镜的运动状态，提高了系统的集成度，降低了系统的复杂性，而且相对于其他的片上集成的压阻传感器或电容传感器，本发明受到的温度等环境因素的影响更小。
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公开(公告)号：CN111562667A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010367849.8
申请日：2020-04-30
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供了一种MEMS微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质，所述驱动控制方法包括：获取MEMS微镜的当前环境温度；根据温度与目标电压值的对应关系计算MEMS微镜在当前环境温度下的目标电压值；获取MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值；判断当前电压值与目标电压值之间的差值是否大于预定的电压阈值；若大于，则调整MEMS微镜的驱动信号，以使得差值小于电压阈值。本发明根据MEMS微镜的当前环境温度来获得目标电压值，通过比较MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值与目标电压值之间的大小来判断是否需要对MEMS微镜的驱动信号进行调整，从而在实时监测MEMS微镜的偏转角度的同时考虑环境温度对MEMS微镜的偏转角度的影响，以实现对MEMS微镜的偏转角度的精确控制。
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公开(公告)号：CN104570332B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201310479059.9
申请日：2013-10-14
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G02B26/10
Abstract: 本申请公开了一种MEMS扫描振镜的磁场系统，包括MEMS扫描振镜芯片和至少两个磁体组，所述的每个磁体组包括分别位于所述MEMS扫描振镜芯片上下两侧的上磁体和下磁体，所述的上磁体和下磁体的相对面磁极同性，且位于MEMS扫描振镜芯片上侧的至少两个上磁体的磁极方向相反。本系统优化了永磁体与振镜的相对位置，可以使MEMS扫描振镜的驱动平面上的磁感应强度达到最大。
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公开(公告)号：CN118732255A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410742065.7
申请日：2024-06-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本申请提供了一种微机电系统快反镜，该微机电系统快反镜包括衬底、反射镜、驱动单元和电涡流传感器，反射镜活动安装于衬底，驱动单元用于驱动反射镜活动，电涡流传感器用于检测反射镜活动时的位移。该微机电系统快反镜集成了电涡流传感器，可以提高器件的抗干扰能力，且降低器件的整体体积和提升集成度。
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公开(公告)号：CN105523520A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410508390.3
申请日：2014-09-28
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其是指一种微机电系统运动传感器的制备方法，包括释放工艺，所述释放工艺的具体步骤包括：在形成有顶金属电极的硅片上进行光刻工序，用于获得与梳齿电极和质量块对应的光刻图形；再利用深硅刻蚀工序将所述光刻图形转移至所述硅片上，最后去除具有所述光刻图形的光刻胶。本发明可有效解决微机电活动结构释放工艺中的黏附问题。
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