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公开(公告)号：CN109860072B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201711243383.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种变轨迹悬空物支撑机构，包括线夹、滑动伸缩杆和架体连接块；所述滑动伸缩杆的两端分别与所述线夹铰接和所述架体连接块铰接，形成可转动连接；所述线夹夹设于变轨迹悬空物的重心处，所述架体连接块固定安装在加工设备的机架上。本发明具有结构简单、支撑力大且节省水平向空间等优点。同时，提供包括该变轨迹悬空物支撑机构的粗微动台。
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公开(公告)号：CN112578639A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201910935175.4
申请日：2019-09-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种限位机构、掩模台及光刻机，运动部件设置于掩模台框架上并能够相对所述掩模台框架移动，限位机构设置于所述掩模台框架的掩模交接位上，所述限位机构的位置检测模块用于检测所述运动部件是否移动至所述掩模交接位时，所述限位机构的限位模块在所述运动部件到位时伸出以对所述运动部件进行限位，从而实现了进行掩模板交接时对所述运动部件进行限位的功能，保证了掩模板交接时的安全性。
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公开(公告)号：CN110028008A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201810031987.1
申请日：2018-01-12
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法，所述升降机构包括箱体、蜗杆、蜗轮和丝杆；在所述蜗杆转动时驱使所述蜗轮转动，并通过所述蜗轮转动带动所述丝杆在竖直方向升降运动。本发明所提供的升降机构能够在有限的空间内同时满足高精度和大负载的垂向升降调节要求。以及，本发明还进一步的采用了防转限位机构，防止丝杆转动以使得蜗轮和蜗杆的出力被丝杆完全接收，同时限制了丝杆的运动范围，使得整个传动机构具有更高的效率及可靠性。此外，本发明提供的一种升降机构，弥补了现有技术中高精度、大负载及小尺寸升降机构的空缺，并且应用于例如光刻机领域中，也可相应提升其光刻效果。
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公开(公告)号：CN109860072A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711243383.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种变轨迹悬空物支撑机构，包括线夹、滑动伸缩杆和架体连接块；所述滑动伸缩杆的两端分别与所述线夹铰接和所述架体连接块铰接，形成可转动连接；所述线夹夹设于变轨迹悬空物的重心处，所述架体连接块固定安装在加工设备的机架上。本发明具有结构简单、支撑力大且节省水平向空间等优点。同时，提供包括该变轨迹悬空物支撑机构的粗微动台。
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公开(公告)号：CN112578639B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201910935175.4
申请日：2019-09-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种限位机构、掩模台及光刻机，运动部件设置于掩模台框架上并能够相对所述掩模台框架移动，限位机构设置于所述掩模台框架的掩模交接位上，所述限位机构的位置检测模块用于检测所述运动部件是否移动至所述掩模交接位时，所述限位机构的限位模块在所述运动部件到位时伸出以对所述运动部件进行限位，从而实现了进行掩模板交接时对所述运动部件进行限位的功能，保证了掩模板交接时的安全性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110814785B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201810909764.0
申请日：2018-08-10
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 黄亚庆
Abstract: 本发明提供了一种限位装置及限位系统，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触；限位装置系统，包括多个限位装置。在本发明提供的限位装置及限位系统中，能有效减小运动台边界的极限偏移量；且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力，造成结构损坏或电机烧毁。
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公开(公告)号：CN109799682B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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公开(公告)号：CN108983552B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201710399702.5
申请日：2017-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种移入移出机构，包括连接块、板簧、板簧变形驱动单元及滚轮单元；板簧为二分段式结构，板簧的两个分段之间铰链式连接，板簧的一个分段通过连接块安装在待移动对象上、另一个分段连接滚轮单元；板簧变形驱动单元为板簧上连接所述滚轮单元的分段提供朝向移动承载面变形的驱动力。本发明还公开了一种光刻机工件台移入移出装置，包括底部框架、空气弹簧、气垫装置及上述移入移出机构，多组移入移出机构设置于底部框架的下表面或侧边。本发明移入移出机构的板簧采用铰链结构分段，且板簧变形各受力处共线，可保证受力均衡，防止卡死；移入移出装置成对使用多组移入移出机构，可防止对地面施加过大压力而造成工件台倾覆。
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公开(公告)号：CN109634060B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN110814785A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201810909764.0
申请日：2018-08-10
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 黄亚庆
Abstract: 本发明提供了一种限位装置及限位系统，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触；限位装置系统，包括多个限位装置。在本发明提供的限位装置及限位系统中，能有效减小运动台边界的极限偏移量；且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力，造成结构损坏或电机烧毁。
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