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公开(公告)号：CN112539773B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201910900879.8
申请日：2019-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
Abstract: 本发明提供一种吸盘及运动系统，所述吸盘包括两个以上的真空气路与片叉凹槽，每个所述真空气路包括一个气路接口，且所有的所述气路接口以所述吸盘的圆心为中心均匀分布，且集中设置在以所述吸盘的圆心为中心，半径为r的第一区域内；所述片叉凹槽沿所述吸盘的直径方向设置于所述顶面上，所有的所述真空气路均避开所述片叉凹槽设置。如此配置，使得气路接口集中设置在圆心周边，保证气路接口方便接通真空源的气管，简化气管连接处的结构，设置的片叉凹槽的结构简单、加工方便且加工成本低，避免使用结构复杂的滑环结构和成本很高的pin结构，同时保证了较好的吸附效果。
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公开(公告)号：CN110568728A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201810570888.0
申请日：2018-06-05
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。
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公开(公告)号：CN109848691A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244930.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
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公开(公告)号：CN112543575B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN201910900876.4
申请日：2019-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明提供的一种板卡插接模组及电控盒，板卡插接模组包括固定组件、气流通道以及冷却液通道，所述相对设置的两个固定组件用以沿第一方向固定一板卡，所述气流通道沿所述第一方向形成于所述两个固定组件之间；所述冷却液通道形成于至少一个所述固定组件之中；在电控盒中所有所述板卡插接模组中的气流通道和冷却液通道依次连通。如此配置，冷却液和气体共同散热可使得所述卡插接模组与所述电控盒的冷却效率提高，所述电控盒装置简单，气流通道和冷却液通道几乎不占用额外的空间，扩展板卡时只需要将板卡插接模组进行组合，组装方便并且成本低，气流通道和冷却液通道构建方便，空间利用率高。
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公开(公告)号：CN109799682B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109874242B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201711249449.1
申请日：2017-12-01
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
IPC: H05K5/02
Abstract: 本发明公开了一种线缆保护装置及光刻设备，该线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。相应的光刻设备包括该线缆保护装置。本发明能有效地避免线缆与障碍物之间严重摩擦，防止卡住气控箱，保护线缆。
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公开(公告)号：CN109725497A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201711060732.X
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种运动台移动机构、运动台系统与光刻装置，所述的机构，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别连接所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。相较于现有技术中垂向位置不可调的机械方案，本发明可通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。
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公开(公告)号：CN109725495B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201711046800.7
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
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公开(公告)号：CN109634060B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN109799682A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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