公开(公告)号：CN110568728B

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201810570888.0

申请日：2018-06-05

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然 ,  纪俊洋

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。

公开(公告)号：CN112083630A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201910508366.2

申请日：2019-06-12

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 纪俊洋 ,  郑清泉 ,  方洁

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种限位缓冲机构、掩膜台及光刻设备，包括柔性单元及限位单元，柔性单元包括第一固定端、第二固定端及位于两者之间的柔性部件，柔性部件包括第一簧片及若干第二簧片，若干第二簧片的一端与第一簧片的一端连接，最靠近所述第一簧片的第二簧片的另一端与第一簧片的另一端之间设有间隙，限位单元与柔性单元的第二固定端连接，当限位单元受力时，若干第二簧片先形变以进行缓冲，当间隙闭合后，若干第二簧片及第一簧片一起形变以提供缓冲，以防止零件被损坏，且由于第一簧片的横向宽度尺寸较第二簧片的横向宽度尺寸大，也就具有较大的刚度，在间隙闭合后可以提供限位功能，防止柔性单元形变过大，保证缓冲效果达到最佳。

公开(公告)号：CN112083630B

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN201910508366.2

申请日：2019-06-12

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 纪俊洋 ,  郑清泉 ,  方洁

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种限位缓冲机构、掩膜台及光刻设备，包括柔性单元及限位单元，柔性单元包括第一固定端、第二固定端及位于两者之间的柔性部件，柔性部件包括第一簧片及若干第二簧片，若干第二簧片的一端与第一簧片的一端连接，最靠近所述第一簧片的第二簧片的另一端与第一簧片的另一端之间设有间隙，限位单元与柔性单元的第二固定端连接，当限位单元受力时，若干第二簧片先形变以进行缓冲，当间隙闭合后，若干第二簧片及第一簧片一起形变以提供缓冲，以防止零件被损坏，且由于第一簧片的横向宽度尺寸较第二簧片的横向宽度尺寸大，也就具有较大的刚度，在间隙闭合后可以提供限位功能，防止柔性单元形变过大，保证缓冲效果达到最佳。

公开(公告)号：CN113448174B

公开(公告)日：2023-02-10

申请号：CN202010224501.3

申请日：2020-03-26

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 杨存攀 ,  纪俊洋

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种缓冲结构、掩模台及光刻机，所述缓冲结构包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向。该缓冲结构可有效吸收撞击时的冲击，减少元件损伤。

公开(公告)号：CN113448174A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202010224501.3

申请日：2020-03-26

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 杨存攀 ,  纪俊洋

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种缓冲结构、掩模台及光刻机，所述缓冲结构包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向。该缓冲结构可有效吸收撞击时的冲击，减少元件损伤。

公开(公告)号：CN110568728A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201810570888.0

申请日：2018-06-05

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然 ,  纪俊洋

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。